好消息!年产15万片碳化硅晶圆片竣工!
来源:今日半导体 发布时间:2021-11-29 分享至微信
铜陵经济技术开发区消息,11月27日,安徽微芯长江半导体材料有限公司举行年产15万片碳化硅晶圆片项目建筑工程竣工庆典仪式。日本磁性技术控股股份有限公司代表取缔役社长、Ferrotec(中国)集团董事局主席、安徽微芯长江半导体材料有限公司董事长贺贤汉,经开区党工委书记、管委会主任周剑,相关单位负责同志参加竣工仪式。
图片来源:铜陵经济技术开发区
此项目是FerroTec集团在第三代半导体领域的全新布局,项目总投资13.5亿元,占地100亩,新建碳化硅晶体生长车间、碳化硅晶圆片加工车间、研发中心等。项目建成达产后,预计年产碳化硅晶圆片4英寸5万片、6英寸20万片。
项目投资13.50亿人民币,占地100亩,新建厂房建筑使用面积3.2万平,包括碳化硅晶体生长车间、晶圆加工车间、研发中心、动力厂房、辅助用厂房等。项目以节能环保, 4&6吋工艺兼容的自动化产线为实施要点,建设工期4年,项目从2020年10月起至2024年10月止,计划2021年12月底完成中试并开始试销,投产后前3年生产负荷分别为33%、67%、100%。达成后预计年产4英寸碳化硅晶圆片3万片、6英寸12万片。项目达产后年销售收入9.3亿人民币,具有较好的经济和社会效益。同时规划预留未来进一步扩产与SiC外延等生产空间,择机抢占SiC功率器件领域,届时公司将具备SiC晶圆的完整产业链。
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