先导基电发布850型轮廓仪设备

近期，先导基电（600641.SH）推出了其自主研发的850型超精密非接触轮廓仪。该设备的整机最大检测尺寸可达1000mm×250mm，能够满足先进制程光学系统核心元件的量程需求，率先在国内实现了超大尺寸超精密光学检测设备的研发突破。其核心传感器搭载了自研的超稳频多波长干涉测距系统，采样率超过20kHz，相比国际主流产品提升了约8倍，从而实现了更高密度的数据采集与更高效的检测。

在技术体系方面，该产品构建了从核心光源、测量算法到精密机械及系统集成的全链条自主可控体系。借助控股股东在磷化铟（InP）等关键材料上的积累，企业掌握了超稳频及窄线宽激光器等核心技术，并结合多维环境与多运动轴实时在线补偿模型，确保了纳米级测量场景下的长期稳定性。相较于价格动辄上千万元的同类进口设备，这款新产品在达到国际先进检测水平的同时，大幅降低了应用门槛，可广泛应用于民用非球面镜片、自由曲面镜片、微透镜阵列及红外镜片等光学产品的生产与检测。

非接触轮廓仪产品图

850型轮廓仪的问世是先导基电在科学仪器领域深化布局的缩影。通过收购拥有近40年技术积累的本原纳米，公司在微纳测量领域形成了包含显微镜、轮廓仪和白光干涉仪的产品线。此外，旗下伍丰仪器在色谱行业深耕30余年，构建了液相、气相及离子色谱等完整体系，服务客户超1.2万家。目前，企业已打造出涵盖色谱、光谱、质谱、显微镜及表面测量等维度的产品矩阵，并持续向高端质谱、电子显微镜及X射线仪器等方向拓展。

先导基电旗下科学仪器产品图谱