我国自主研发高端光刻胶树脂实现新进展

近日，依托2030新一代人工智能国家科技重大专项的总体部署，上海人工智能实验室（上海AI实验室）联合厦门大学、苏州国家实验室等合作单位，成功构建了“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系，实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂创制。

光刻胶作为芯片制造的核心材料之一，其质量直接影响芯片的性能和成品率。高端氟化氪（KrF）光刻胶树脂相关技术与市场长期被少数国外企业垄断，导致供应链高度依赖、材料成本居高不下，且难以满足定制化和快速响应需求。据“上海人工智能实验室”介绍，此次研发的智能化合成平台颠覆了传统实验室依赖人工操作的粗放研发模式，实现了从液体精准转移、惰性气氛保护到多级自动化后处理的全流程闭环运行。

联合团队构建的“决策-互联-执行-迭代”智能化研发体系，以智能化合成平台为物理执行基础，显著提升了批次间的一致性。实验数据显示，该平台可将成品树脂金属杂质含量稳定控制在10ppb以下，同时严格把控分子量分布，PDI指标稳定控制在1.3以下。厦门恒坤新材料科技股份有限公司基于光刻胶配方开发经验，完成了树脂适配，产业关键指标均达预期，后续将进入客户端验证阶段。

此外，依托上述智能化研发体系，研发团队在KrF光刻胶树脂配方优化、工艺调控、纯度管控等方面开展了系统性攻关，各项核心性能指标均达到预设目标，为后续产业化应用积累了核心技术与实践经验。