鼎龙股份高端光刻胶拿大单,量产线加速爬坡
来源:陈超月发布时间:2026-06-12701浏览
询问 AI据鼎龙股份(300054)6月11日晚间发布的自愿性公告显示,其控股子公司鼎龙(潜江)新材料有限公司在KrF及ArF高端晶圆光刻胶业务方面接连获得重要订单。
公告指出,该企业年产300吨的KrF与ArF高端晶圆光刻胶生产线已于2026年3月20日正式投产。目前,已向两家头部晶圆制造厂交付数百加仑的浸没式ArF和KrF光刻胶,并成功导入客户的量产线。基于良好的应用反馈,这两家客户于近期追加了将近1000加仑的新订单。
在商业化推进方面,截至公告发布之日,鼎龙股份共有8款高端晶圆光刻胶获得国内多家主流晶圆厂的批量采购,包含ArF与KrF产品各4款,相比今年一季度末增加了5款。此外,该企业累计研发了40多款高端晶圆光刻胶,其中近30款已送交客户进行验证,超过10款正处于加仑级样品测试环节。为提供更完善的解决方案,企业还开发了底部抗反射涂层(BARC)和旋涂碳(SOC)等多款光刻辅助材料。
关于产能规划,该企业分期推进项目建设。一期年产30吨的生产线已实现稳定运转,满足了前期送样与验证需求。二期年产300吨的量产线在2026年一季度末建成,现阶段正处于产能爬坡期,并同步完成了控制系统数据库的构建与人工智能分析赋能。其生产线的自动化与洁净化程度均达到行业先进水平,有效促进了研发成果向规模化生产的转化。
据公告透露,位于潜江的生产基地建成了国内首条涵盖有机合成、高分子合成、精制纯化至光刻胶混配的全流程量产线,打破了行业内仅侧重最终混配环节的常规模式。通过建立多条原材料合成与纯化产线,该企业实现了特殊单体、核心树脂、淬灭剂以及光致产酸剂(PAG)等核心原料的自主生产,从而提升了供应链的安全性和可控性。在质量管理上,企业建立了全员参与的高标准体系,并配备了专业的检测分析与应用评价实验室,以确保产品批次的一致性。
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