光阻剂(Photoresist)是半导体前段曝光制程中不可或缺的关键材料,直接决定芯片线宽、图形精度与良率表现。在晶圆制造过程中,光阻剂均匀涂布于晶圆表面,通过曝光机利用光罩投射紫外光或极紫外光(EUV),产生化学反应形成电路图形,再结合蚀刻制程完成微细结构。
随着制程技术的提升,对光阻剂的分辨率、纯度与稳定性要求也愈加严格。根据曝光波长的不同,光阻剂可分为g-line、i-line、KrF、ArF与EUV等类型。其中,ArF与EUV主要用于7纳米以下的先进制程,是技术门槛最高的上游材料之一。
目前,全球光阻剂市场主要由日本厂商主导,包括JSR、东京应化(TOK)、信越化学(Shin-Etsu Chemical)、住友化学(Sumitomo Chemical Group)与富士软片(Fujifilm)等。美系与欧系供应商则多为补充角色,市占率远不及日系厂商。由于光阻剂涉及与晶圆厂之间的制程整合和长时间验证,一旦供应受阻,将对晶圆厂的制造产生严重影响,因此成为各国竞逐半导体自主化的重要战略材料之一。
据报道,光阻剂作为半导体制造中的核心材料,其供应链的稳定性对全球半导体产业具有重要意义。