半导体量/检测光源：核心零部件+耗材

半导体量/检测设备上游的核心零部件主要包括，运动与控制系统类、光学类、电气类、机械加工件、机械标准件及其他部件。

光源属于半导体量/检测设备核心零部件，又有耗材属性，寿命在几百-几千小时之间，“核心零部件+耗材”，构成了这个细分领域的投资逻辑。

半导体量/检测需要用到不同波长的光源，有白光源、单色光源和激光光源，针对不同的检测材料、待测缺陷和杂质，需要采用不同的光源。

随着光刻技术的发展，工艺制程进入纳米级，目前较先进的量测设备已使用DUV波段光源，能够检测小于14纳米的缺陷，并实现0.003纳米的膜厚测量重复性。

明场和暗场是晶圆检测的两个基本原理，明场探测反射光，暗场探测散射光。明场对照明光束物理特征、成像系统、信噪比等方面的要求更加严格，无图形晶圆的缺陷检测使用暗场系统，有图形晶圆的缺陷检测使用明场系统或是二者的结合。

国内做半导体量/检测设备公司已经出现不少，精测电子、中科飞测、赛腾股份、上海睿励、东方晶源、御微、优睿谱、微崇、中安、法博思、埃芯、盖泽、匠岭为代表，但这些公司的光源核心零部件，主要还是依赖国外厂商。

半导体量/检测光源的国际大厂包括美国相干公司、日本滨松光子。美国相干公司年收入规模为52亿美元（约380亿人民币），日本滨松光子年收入规模为1700亿日元（约83亿人民币）。注：两个公司还有其它业务分支。

半导体量/检测设备光源全球市场规模约为45亿美元，含10亿美元新增设备规模和35亿美元零部件更新替换规模。

作者简介：步日欣

创道硬科技创始人，北京邮电大学经管学院特聘导师、中国生产力促进中心协会专家、天津市集成电路行业协会顾问、浙商证券研究院专家。电子工程本科、计算机硕士学位，具有证券从业资格、基金从业资格，先后就职于亚信咨询、中科院赛新资本、东旭金控集团等，拥有IT研发、咨询、投融资十五年以上经验，关注投资领域为半导体、智能制造、新能源等。