应用材料公司和Fraunhofer光子微系统研究所（IPMS）建立计量中心

新中心旨在加速半导体研究并改善开发项目

应用材料公司和Fraunhofer光子微系统研究所（IPMS）宣布，将合作创建欧洲最大的半导体计量和工艺分析技术中心。

该技术中心在德累斯顿，位于Fraunhofer IPMS的纳米电子技术中心(CNT)，地处萨克森硅谷（欧洲最大的半导体集群）的中心地带。该中心将配备应用材料公司的eBeam计量设备，包括VeritySEM CD-SEM（临界尺寸扫描电子显微镜）系统，成员包括应用材料公司的工程师和研发专家。

Fraunhofer IPMS新一代计算业务部主管Benjamin Uhlig-Lilienthal表示：“应用材料公司拥有行业领先的eBeam计量系统，通过这次合作，Fraunhofer IPMS及其合作伙伴将会受益。Fraunhofer IPMS拥有独特能力，可直接与半导体制造商循环晶圆，新技术中心利用这一点，可在工业CMOS环境中提供先进的晶圆级计量。”

应用材料公司欧洲区副总裁James Robson表示：“我们的合作计量中心将加速多方的学习周期和新应用开发，其中包括Fraunhofer研究所，应用材料公司，以及我们在欧洲的客户和合作伙伴。针对各种衬底材料和晶圆厚度的工艺，这一独特技术中心将能够进行测试，并评估其是否合格，这些工艺对于欧洲不同半导体领域的应用至关重要。”