台积电供应商家登指控英特格侵权案再提起上诉

集微网消息，7月5日，台积电供应商、晶圆传送方案商家登发布公告称，美国安堤格里斯公司（Entegris，又译为英特格）以公司发明专利第I238804号专利权有无效的原因，向中国台湾知识产权及商业法院提起确认的诉讼，经法院审理后宣判侵害专利权不存在，公司对本判决申请上诉。

家登表示，公司委请“万国法律事务所”拟具上诉理由，申请上诉，以维权益，此事件对公司财务业务无影响。

据悉，家登于2021年11月控诉英特格的前开式晶圆传送盒FOUP及极紫外光光罩盒（EUV Pod）侵犯专利、索赔1亿元新台币。今年6月，中国台湾法院判决家登败诉，指控英特格侵权案不成立。

资料显示，前开式晶圆传送盒FOUP是半导体制程中被用来保护、运送并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆。而EUV光罩光刻图案精细度较高，发生掩模污染的风险也比较高，因此需要高度专业化的EUV Pod进行防护。EUV Pod作为一类具有多个关键元件且高度专业化的设备，其技术含量较高。

（校对/张杰）