Lam Research 老客户三星将测试Tokyo Electron新型蚀刻机

集微网消息，据外媒报道，Tokyo Electron预计将在三星电子芯片研究小组半导体研发部指定的位置安装旗下新型蚀刻机用于测试。

目前三星芯片部门使用的蚀刻设备有超过60%都是来自Lam Research的蚀刻设备，而三星近年来一直将测试晶圆送往Tokyo Electron总部验证。根据外媒TheElec援引消息人士的话称，现场的三星工程师对于Tokyo Electron的新型蚀刻机压倒性地满意，如果该机器的测试顺利并通过最终测试，三星计划在3D NAND生产工序中应用Tokyo Electron的新型蚀刻机。

按照目前的时间表，目标是在2025年投产的3D NAND V10 中应用。