光旸科技获数千万元Pre-A轮融资，具备12英寸晶圆前道量测技术

集微网消息，近日，光旸科技（苏州）有限公司（以下简称“光旸科技”）宣布完成数千万元Pre-A轮融资，由小苗基金、苏高新科创天使基金投资。本轮融资资金将主要用于光旸科技人员扩招、新产品研发以及供应链布局和保障，并加速该公司现有业务和项目的拓展。

光旸科技专注于半导体光学量检设备和工业智能光学传感产品的研发创新，该公司已完成12英寸晶圆前道量测技术，覆盖FTIR膜厚量测技术、元素浓度计量技术、X射线量测技术等，可应用于硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟等材料晶圆的量检需求。苏州高新区科技招商中心消息显示，相关设备已经量产，向多家央企、国企、上市晶圆公司等知名半导体企业交付，并用于晶圆批量量测中。

此外，光旸科技已先后推出高精度边缘测量传感器、反射式边缘测量传感器、同轴光边缘测量传感器、激光位移传感器等高端智能传感产品，广泛应用于锂电生产、新能源制造、3C生产、健康医疗等多个领域，并已在宁德时代等客户生产线中应用。（校对/黎雯静）