做GaAs外延的几个公司

GaAS外延片GaAs epitaxial wafer，在特定晶向[(100)或(100)偏向最近<110>2 ～5 的晶面]砷化镓衬底上外延生长的单晶薄层材料外延工艺有LPE、VPE、MOCVD、MBE、CBE、ALE等。商用常用MOCVD设备。

外延是制作激光器的基础，全球外延晶片的供应，主要用两种，一种是全流程大型的光电整合元件制造IDM，例如美国的II-VI、Broadcom、Lumentum、日本的Sumitomo、Mitsubishi等公司，这些公司可以自己生产外延、然后做成芯片、封装成器件。

另外一种是提供外延，或者只做外延代工，例如台湾的联亚光电Landmark，英国的IQE、美国的IntelliEPI等公司。

最近几年内地也出现很多专门做外延的厂家，但是大部分专注于VCSEL和5G通讯用外延。比如华兴激光，全磊、砷芯，唐晶、厦门中芯晶研、度亘核芯光电技术。

2023年3月8日，记者走进唐晶量子化合物半导体外延片研发和生产项目建设现场。现场负责人介绍，项目分两期建设，一期建筑面积20064平方米，于2022年6月正式开工。

该项目拟建设一条砷化镓(GaAs)和磷化铟(InP)化合物半导体外延片生产线用于化合物半导体外延片的研发及生产，包含生产车间、生产大楼等，拟购置硬件设备多套，包含化学气相沉积设备 (MOCVD)、表面颗粒测试仪(SS)等生产研发相关设备。“项目建成后，预计年外延片产量约9.7万片，年产值约30000万元，年税收约2500万元，预计提供就业岗位60余个。”

度亘核芯光电技术位于苏州，目前是外延和器件都做。

但是目前国内的这些外延公司都集中在长波长的产品，好的外延，一般也不外卖，再加上这个外延的生产线毒性较大，很多城市环保卡的严，基本上很难建起来，而且MOCVD一旦跑起来，不能停的，停下来下次就要换衬板等、内部的工艺指标就会飘掉，需要重新调整工艺。