李在熔赴欧能抢几台EUV？ASML法说曝端倪

EUV机台可说是向下推进5纳米以下的关键设备，但ASML一年的出货量目前只有54~60台水准，供应链扩产瓶颈成了ASML增产困难的挑战。ASML

三星电子（Samsung Electronics）会长李在熔假释出狱后，频频出访欧洲皆传出要亲自向荷兰微影设备大厂ASML争抢EUV机台，韩媒也几番报导李在熔成功争取到「额外」的EUV曝光机。

究竟ASML是如何「挤出」额外的EUV曝光机台给三星？李在熔又争取到「几台」额外的EUV设备？日前ASML最新4Q22财报法说会上，公司高层在与法人的提问讨论过程中，透露出端倪。

截至2022年底，ASML手中尚未出货订单（backlog orders）高达404亿欧元规模，其中占比高达55%均来自EUV机台订单。而在这些大约222亿欧元EUV订单中，其中大多数的75%，来自逻辑IC半导体制造厂下订，另外的25%则来自存储器制造业者订单。

细数ASML的EUV客户，包括台积电、三星、英特尔（Intel）、SK海力士（SK Hynix）、美光（Micron）等5大厂，除了英特尔、美光尚未进入EUV商业化量产阶段，其中尤以同时经营晶圆代工与DRAM的三星，对于EUV的需求可说是「双重迫切」。

根据业界人士透露，目前台积电拥有全球最多的EUV，估计到2022年底超过80台。三星急起直追，会长李在熔二度拜访ASML，希望能争取更多的EUV，估计到2022底可望超过40台、上看50台规模，但部分EUV必须供DRAM厂使用。

至于英特尔是EUV的后进，到2022年底EUV约有20台左右，估计开出的先进制程产能也不敷使用。

以ASML旗下EUV机台设备前置期长达1.5~2年来推估，李在熔在2022年间传出争取到「额外」的曝光机台，最快要等到2023~2024年间才能出货，毕竟，ASML的仓库中可没有任何现成的EUV机台可提供。

根据ASML日前在法说表示，相较于2022全年出货54台EUV机台，公司规划2023年目标出货60台EUV，但部分愿意接受加快交货（fast shipment）变通性做法的客户，ASML抢时间先出货给客户，但把最后的厂内测试延后到在客户晶圆厂内进行。

这么一来，ASML约可在2023年间再争取「额外」出货大约5台EUV设备。李在熔赴欧抢的应该就是这个透过快速交货机制「挤出来」的额外EUV机台，但在5大客户争抢下，恐怕三星能够多拿一套都是赚。

责任编辑：陈柏翰