美日荷浸润式DUV输中禁令敲定 ASML罕见发声明证实

彭博周五报导，称美国、日本和荷兰在经过数月的会谈后已达成协议。ASML随后罕见发出书面声明，侧面证实美日荷三国连线DUV输中禁令定案。法新社

经过来自华府漫长的游说与谈判，据多家外媒报导日本与荷兰政府已于美国时间27日周五，同意限缩该国厂商出口国内业者的半导体芯片制造设备，荷兰微影设备大厂ASML更罕见在周六发出声明，证实多国协议已敲定，表示输中禁售令虽聚焦先进制程技术，但恐将不限于先进微影设备(but not limited to advanced lithography tools)。

综合华尔街日报(WSJ)、金融时报(FT)、路透(Reuters)、彭博(Bloomberg)等报导，美日荷三国日前达成最新协议，荷兰政府将禁止ASML向国内业者出售至少部分浸润式微影设备(at least some immersion lithography tools)，此类高端DUV机台攸关先进制程推进，可说是14纳米以下芯片生产不可或缺的关键，而日本政府也将限缩日商尼康(Nikon)类似输中禁令。

美国拜登政府于2022年10月祭出的先进制程设备与高端芯片输中禁令的重大缺口之一，在于荷兰、日本等国半导体设备大厂ASML、尼康(Nikon)、东京威力科创(TEL)等业者仍持续出口国内部分先进制程设备。

有监于此，拜登政府在收紧美系设备商应用材料(Applied Materials)、科林研发(Lam Research)等业者输中高端设备之后，更积极拉拢欧系与日系等业者共同围堵国内先进制程推进，2023年1月13日与17日，日本、荷兰两国首相访美期间与拜登达成共识。

1月23日这一周，日本、荷兰政府代表也在华府与美国国安顾问Jake Sullivan领衔的谈判代表团沙盘推演相关输中禁令新措施，不过，根据华尔街日报与彭博均引述消息人士指出，由于日、荷两国忧心遭到国内报复，三方协议不拟公开对外宣布。

日本经济产业大臣西村康稔(Yasutoshi Nishimura)周五也证实，日本正与美国等盟国商讨出口管制措施升级一事，但他婉拒提供细节。日商尼康也供应国内业者微影设备，该公司目前仍低调回应，表示尼康输中产品均合规，尚未接获来自日本政府进一步出口管制升级的通知。

不过，荷商ASML周六却罕见发出声明表示，据公司据了解，多国政府之间已采取措施达成协议，该协议将专注于先进的芯片制造技术，包括但不限于先进的微影设备。ASML的这项声明无疑也侧面证实了，多家外媒报导美日荷三国连线DUV输中禁令已经达成协议。

在此同时，ASML的声明也透露了这项高端DUV机台输中禁令，在相关措施生效之前，仍必须透过进一步细节推敲，并透过立法推进，仍将花上一段时间，估计将不至于重大冲击该公司关于2023年业绩展望。

责任编辑：梁燕蕙