ASML同意禁售扩及DUV？国内40纳米以下技术无望

ASML早在2019年自家高价高毛利的独家EUV设备就已不出售予国内客户。法新社

为全力扩大箝制国内半导体发展，美国除3个月内两波禁令陆续发布外，近月来也希望日本、荷兰能合作，三国同盟抗衡国内，其中，手握半导体EUV、DUV关键设备的ASML为美国政府锁定目标。

半导体设备业者表示，2019年时ASML先进EUV设备已停止销往国内，让中芯等前进7纳米以下EUV时代断念，不过因DUV设备销售未受影响，因此也频传中芯5/7纳米不需要EUV设备也能绕道抢进。

而今，美国政府彻底要阻绝国内半导体发展之路，设备、芯片、EDA与人才限制还不够，希望ASML不只是EUV，禁销国内设备扩大至部分DUV设备。

据了解，ASML近期就会宣布同意美国要求，原本中芯14纳米已遭卡脖，此限制将扩及28纳米与40/45纳米成熟制程，不仅现有设备维修受阻，由于本土设备厂大多仍无法取代欧美厂，中芯未来扩产计划已承压。

中美贸易战于2018年正式开打，在美国高举国安大旗下，快速演变为半导体科技大战，近月来更是火力全开，12月15日美国商务部再公布长江存储、合肥万亿芯、寒武纪、深圳鹏芯微、上海微电子等36家国内企业与机构列入实体名单。

半导体业者指出，美国箝制力道将持续收紧，连日来盛传美国持续与日本与荷兰政府研议，希望能共同采取限制对国内先进设备出口的新规范。

但其中，ASML早在2019年自家高价高毛利的独家EUV设备就已不出售予国内客户，美国的最新要求是希望ASML的DUV设备技术也能配合，以技术含量来看，除了14纳米外，应会令国内40/45纳米、28纳米成熟制程发展也停滞不前。

只不过，ASMLCEOPeter Wennink在接受新闻媒体NRC Handelsblad采访时虽质疑美方的合理性，市场也认为ASML应不会对美国言听计从，若按美方要求，势将影响国内市场销售表现。

但半导体设备业者表示，ASML最后仍会遵行美国要求，主要是美国政经地位优势及手上也有ASML所需的关键零组件，因此在其他欧美日设备厂皆妥协下，美国不可能放过ASML，让国内有漏洞可钻。

半导体业者表示，美国设备禁令上路，除了应材等美系大厂必须得遵守外，ASML与日本东京威力科创也跑不掉。

北方华创、中微半导体或是号称即将量产DUV设备的上海微电子，近年虽在国内大基金扶植下快速成长，但制造技术仍难与前十大设备厂相比，也就是完全无法取代进口设备，美国再度出手，不只是中芯、华虹等受影响，连存储器产业发展也将原地踏步。

当前受关注的是，ASML近期料将同意美国禁售部分DUV设备要求，将对中芯带来重大影响，原本没了EUV设备，7纳米以下已无望，14纳米也停摆，预期未来数年营收将明显大增的28纳米、40/45纳米将全面受限。

也就是美国将让中芯主流制程锁在55/65纳米制程，28纳米大扩产消风，同时让砸下万亿元扶植的国内半导体自主大计打水漂，至少28纳米以下产品设计与生产将全面仰赖国内以外业者。

目前来看，美国锁喉力道不会松手，只会更收紧下，国内政府虽砸下钜额补助反击，但恐怕将陷入有钱也买不到想要的东西困境。

责任编辑：陈奭璁