深度*行业*半导体设备行业2022年一季报展望：SEMI对中国大陆晶圆厂设备支出预期悲观？实际上国产设备厂商订单年初以来全面开花

报告要点

全球设备行业：Fab 厂产能利用率保持高位，2022 年全球资本开支将延续大幅增长。

据IC insights 预计，2022 年全球半导体行业资本支出将大增24%，达到1904 亿美元的历史新高。SEMI 预计，2022 年全球前端晶圆厂设备支出1070 亿美元增长18%，连续第三年增长。SMIC2021Q4 产能利用率99.4%；华虹半导体2021Q4 产能利用率105.4%；联电2021Q4 产能利用率100%+，2022 年资本开支将同比增长67%。

SEMI 对中国大陆晶圆厂资本开支预测下滑30%？国内至少还有100 多万片/月产能待建。一季度国内半导体设备厂商订单大幅增长预期形成鲜明对比的是，SEMI 于3 月22 日给出全球晶圆厂设备支出增长18%估计中，中国大陆市场将同比下降30%。我们认为SEMI 可能是考虑到以下三个原因：(1)国际晶圆制造企业在中国大陆的Fab厂资本开支可能走低，如三星西安、海力士无锡等建厂高峰已过；(2)国内代工厂龙头SMIC资本开支指引仅增长11%，但实际上是SMIC仍有12 英寸20+万片/月以上的产能等待建厂；(3)全球范围内关键部件供应紧张制约半导体设备交付，从而有可能延缓包括中国大陆晶圆厂在内的产能扩张步伐。但实际上从各本土晶圆厂的扩产计划来看，国内至少还有100 多万片/月产能待建，设备采购需求十分旺盛，大基金于去年底和今年3 月还依次投资长江存储、杭州富芯等晶圆厂。

国际半导体设备龙头对后市持乐观态度，需求强劲但供应链依旧紧张。 LamResearch 估计2021 年全球WFE 约850 亿美元，但伴随着大量未得到满足的设备需求，2022 年WFE 支出将在1000 亿美元级别，并且大部分细分领域都预计有强劲增长。多个半导体设备龙头表明2022 年仍然受到零部件供应限制，出货量及实现收入将更多分布在下半年。

全球半导体设备行业：一季度销售额预计增速8%左右，全年将逐季回升。根据各公司公告，一季度全球半导体设备行业销售额估计超270 亿美元，同比增长8%，其中WFE 设备行业230 亿元以上增长7%左右，后道测试设备行业增长6%，后道封装设备行业增长18%。全球WFE 设备行业单季度收入呈个位数增长，主要原因是ASML 光刻机收入确认同比下降20%左右，以及关键部件自2021 年三季度开始紧缺导致设备整机交货节奏放慢。ASML 单季度收入同比下滑20%主要是由于因客户要求而缩短验收周期的交付节奏调整所致，实际上一季度发货53-55 亿欧元但有1/2 以上确认在二季度及以后，全年维持20%收入增速指引。

全球半导体零部件：预计一季度销售额同比增长16%左右，但零部件龙头也面临供应链限制的困境。主要是超科林一季度收入指引5.8-6.3 亿美元，同比增长45%；而零部件龙头MKS 一季度收入指引7.2-7.8 亿美元，同比仅增长8%，因为也受到了上游供应链的约束；先进能源工业收入指引3.4-3.8 亿美元同比增速仅2%。

国内订单：龙头公司订单增速超60%，多家企业批量重复大订单。根据北方华创公告，1-2 月份新签订单超 30 亿元，同比增长超 60%。盛美上海2 月中旬公布29台湿法槽式清洗设备订单、21 台镀铜设备订单(13 台Ultra ECP map 前道铜互连电镀设备+8 台Ultra ECP ap 后道先进封装电镀设备)，并中标10 多台单片清洗设备订单(中国国际招标网)。万业企业公告2021 年集成电路设备收入超2 亿元，且控股孙公司北京凯世通拟向重要客户出售多台12 英寸集成电路设备(包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机)，总金额6.58 亿元。上海精测半导体的子公司上海精机微获明场检测设备的2 台订单。

本土Fab 厂陆续采购设备，北方华创、盛美、华海清科、拓荆等均获批量重复订单。

华虹无锡项目一季度公布的中标数据，北方华创中标13 台(3 台PVD、4 台刻蚀、6台合金退火)，盛美中标11 台单片清洗设备、华海清科中标3 台CMP、拓荆中标3台CVD、烁科中科信中标1 台离子注入机，上海微中标2 台晶圆激光退火设备。

12 英寸硅片厂设备国产化呈向好趋势。根据中国国际招标网，南京晶能累计中标上海新昇的4 台单晶炉，而晶盛机电在加工设备方面中标过外径研磨、边缘抛光、硅片切割等设备，盛美上海累计中标数台清洗设备，华海清科、华卓精科分别中标过终抛、键合设备。

重点推荐

A 股半导体设备推荐组合：中微公司、北方华创、盛美上海、精测电子、万业企业、芯源微、华峰测控、长川科技、晶盛机电、江丰电子、新莱应材、神工股份。

评级面临的主要风险

晶圆厂建设慢于预期；国际地缘政治摩擦不确定性；零部件供应紧缺。

（文章来源：中银国际证券）