Cell on Peri构造有利IDM提升3D NAND Flash竞争力
来源:DIGITIMES 发布时间:2016-07-04 分享至微信


然而,Cell on Peri构造将原先在不同制程制作的3D NAND Flash与逻辑电路结合于单一制程,虽有其优点,但尚存诸多课题,包括相关产线与设备需延伸、扩大,将导致业者的资本支出增加,且3D NAND Flash经高温制程后,恐因高温而破坏下方CMOS电路,将影响良率。

由于三星同时生产3D NAND Flash与逻辑电路,如Cell on Peri构造能克服良率与成本等问题,可望成为其争取苹果(Apple)应用处理器(Application Processor;AP)订单的优势,而东芝半导体事业涵盖3D NAND Flash与系统LSI,美光与英特尔阵营亦可结合双方3D NAND Flash与CPU,运用Cell on Peri构造,有助其提升3D NAND Flash竞争力。

另外,3D NAND Flash若引进Cell on Peri构造,由于在形成周边区域后,需经过化学机械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)制程使之平坦化,才能于其上形成3D NAND Flash晶胞阵列,将使得CMP制程的重要性提高。

美光与英特尔阵营于3D NAND Flash所开发的Cell on Peri构造

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