半导体制程竞赛进入7纳米世代，左右胜负的命脉是良率，而攸关良率的关键则是检测技术。从去年微影龙头大厂ASML以新台币1,000亿元收购汉微科即可窥知一二，日前致茂电子也宣布迎娶工研院旗下的“新世代溶液纳米粒子监测系统–SuperSizer”技术团队，成立新创公司兆晟纳米科技，要挑战汉微科传奇第二，台积电可望将成为该新创公司的第一个客户。

台湾半导体设备扳回一城　检测技术是很好的机会

台湾在全球半导体产业版图举足轻重，但在设备供应链上，却一直位居弱势，有机会扳回一城的关键领域是检测设备市场，尤其半导体制程技术朝14/16/10/7/5纳米微缩，良率提升非常不容易，利用创新的检测技术察觉微粒子，成为半导体制程中非常关键的一环。

工研院即表示，当初在评估“SuperSizer”案子时，即认为帮助良率提升1%，可以反应提升8%的获利。

“新世代溶液纳米粒子监测系统–SuperSizer”是工研院旗下投入超过五年的技术团队，日前在SEMICON Taiwan 2017年中闪电露面，日前正式宣布该团队将技术转移给半导体自动检测设备大厂致茂电子，新公司兆晟初期的资本额为资本额2,000万，由致茂100%出资，未来计划增资到新台币2亿元，会有工研院做股东加入，而新公司目前约30人，预计到2018年底增加至50人规模。

致茂借由SuperSizer技术　从半导体后段吃回前段

致茂暨兆晟董事长黄钦明表示，兆晟目标是一年内将技术商品化，出货给客户，非常看好检测市场的前景，SuperSizer的溶液纳米粒子监测系统不单是可用在半导体领域，也可用在生医、光电、空气品质监测、环境品质监测等。

黄钦明进一步表示，致茂的自动化检测产品多是以后段制程为主，然这几年半导体大厂在前段制程上飞速成长，一路转进7纳米制程技术，SuperSizer的溶液纳米粒子监测系统加入集团产品中，可让致茂补足半导体前段设备技术，从后段吃回前段，让集团产品线趋于完整。

SuperSizer技术扮演鹰眼　协助提升半导体大厂良率

“新世代溶液纳米粒子监测系统–SuperSizer”技术原理是，在IC的湿式制程中，需要使用化学溶液来进行晶圆表面的清洗、蚀刻、研磨，而溶液中纳米粒子的尺寸和分布，会影响晶圆上电路图案的制程结果，为了确保制程良率，这些化学溶液的状态必须被精准的掌握。

现在一般的半导体厂所采用以光学原理来量测化学溶液的方式，顶多能监测到20纳米制程世代，延伸出来的另一个问题是，量测过程中常受到溶液中微纳米气泡的影响，误导了监控结果。

而“SuperSizer”采用创新的方式，是先将量测的溶液气雾化，气雾化的纳米颗粒就不会再受到原溶液中气泡的影响，再搭配气压变化影响纳米粒子的移动，以及再次凝结经气雾化的纳米粒子，即可精准地量测化学溶液中的粒子大小和分布状况。

再者，“SuperSizer”监测范围达到5~1,000纳米，可以连续24小时线上监测半导体厂使用的化学溶液粒子的大小和浓度，适用于20纳米以下的先进制程技术，因此，该创新技术备受业界关注，不但台系半导体厂有兴趣，美系半导体厂也开始在询问。

产学合作典范　期许兆晟问鼎国际

经济部技术处简任技正林浩钜表示，台湾的半导体产业为全球前三大，对GDP的直接贡献度约8%，而由半导体延伸出去的广义电子产业更达到GDP 30%以上，2016年技术处以特殊具时效性计划，支持“SuperSizer”建置试量产能力、完成设备安全验证、进行新创事业筹备，如今研发的成果，是借由科专计划补足产业化最后一哩路，也是科技专案产业化成果的典范。

工研院院长刘仲明表示，这项SuperSizer检测技术曾在2015年入围R&D 100 Awards后，积极思考如何与半导体产业连结，并说服半导体大厂采用，落实产业化，而致茂是台湾唯一拥有量测与自动化能量的仪器大厂，技术跨足电动车、半导体等领域，工研院将这项前瞻技术技转成立新公司，期许能将技术发扬光大，成为世界级顶尖的公司。

工研院量测中心主任林增耀表示，根据研究机构Tractica预估，AI驱动软硬件营收从2015年的8亿美元成长到2025年上看约1,740亿美元，年复合成长率达56%，伴随着AI世代的来临，带动智能机器人、智能制造、智能物联、无人驾驶等高阶芯片生产需求大增，加速半导体产业持续投入10纳米以下的制程发展。而工研院研发的SuperSizer技术，可连续24小时线上监测研磨液、双氧水及超纯水等化学溶液中粒子的大小与浓度，可量测的粒子范围囊括5~1,000纳米，远优于业界约20纳米的监测水准。