日厂研发木质生物质光阻剂,瞄准2纳米半导体市场
来源:万德丰 发布时间:2 天前 分享至微信

日本纸张制造商王子控股正在研发以木材生物质为原料的半导体光阻剂,旨在满足2纳米芯片制程技术的生产需求。该光阻剂不仅环保,而且不含被认为有害的全氟和多氟烷基物质(PFAS)。


据日经新闻报道,王子控股已确认生物质光阻剂可以形成2纳米以下的半导体,并与极紫外光(EUV)曝光制程兼容。


该公司计划根据下一代EUV曝光机的推出,继续推动实际应用,并与各研究机构合作,提高因应半导体制程细微化的能力。


王子控股社长矶野裕之在投资者说明会中指出,该公司已开发出以木质提取成分为原料的生物质光阻剂,并规划于2030年代实现年销售额100亿日圆的目标。


然而,将木质来源的材料用于半导体制造面临去除杂质的挑战,目前王子控股已克服这一难题,但仍需建立品质保障体系。


在半导体光阻剂市场,王子控股将面临来自JSR、东京应化工业、信越化学工业、住友化学和富士软片等既有厂商的竞争。尽管面临挑战,但王子控股的生物质光阻剂计划仍有望在2027年切入市场,为半导体制造业带来创新。


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