Rapidus引进EUV设备,迈向2纳米芯片量产
来源:ictimes 发布时间:2 天前 分享至微信
Rapidus,一家致力于量产2纳米芯片的日本公司,近日宣布已成功引进日本首台量产用极紫外光(EUV)曝光机「NXE:3800E」,并举行了纪念仪式。该设备将被安置在位于北海道千岁市的工厂「IIM-1」,且未来还将引进更多同类设备。
Rapidus社长小池淳义在仪式上表示,这是从北海道向全世界供应最先进半导体的稳健第一步。他透露,虽然目前无法公开具体引进数量,但一台或两台设备无法满足Rapidus的产量目标。
EUV曝光机部分装置已于2024年12月14日抵达新千岁机场,预计将于2024年底前完成全部设备的搬入。由于设备庞大且精密,搬运和安装过程需要高度专业和谨慎。
Rapidus在2纳米量产技术上正按计划顺利推进,并已派遣技术人员至美国IBM研究中心进行研发。预计2025年4月试产产线启用时,将有300~400名员工在厂工作。
尽管台积电可能在2纳米芯片量产上领先Rapidus,但小池淳义强调,Rapidus的制造流程在速度上具有优势,能更快追上良率与效能要求。
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