科林研发（Lam Research）近期推出Dextro协作机器人，旨在提高晶圆厂设备维护的精确度和效率。该机器人已应用于多款蚀刻设备，并部署于全球先进晶圆厂。

Dextro为一款可移动式机器人，配备可替换末端执行器，由工程师操作。它可协助三种维护工作：安装消耗性零件、拴紧高精度真空密封螺栓、去除舱壁聚合物残留。

其精确度是人类手动操作的两倍，能避免手动操作的失误和温度偏差，减轻工作人员负担。

目前，Dextro适用于科林研发的Flex G与H系列介电质蚀刻设备。科林研发计划2025年后将其应用范围扩大至更多设备，期望在半导体业界广泛推广。

该机器人的推出有望缓解半导体制造产业工程师短缺问题，降低因设备维护不当导致的成本浪费，提升晶圆厂运作效率。