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全球首款！泛林晶圆厂维护机器人

来源:芯极速发布时间:2024-12-13

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当地时间12月10日，泛林集团（Lam Research）宣布推出协作机器人（cobot）Dextro，这是世界首款专为半导体制造设备维护打造的协作机器人，该型机器人目前已部署在全球多个先进的晶圆厂。

据介绍，Dextro是安装在推车上的协作机器人，配有机械臂，由制造技术人员或工程师进行控制，借助各种末端执行器或“手部工具”能很好地完成三项关键设备维护任务：

1、可精确安装和压缩耗材组件，其精度是手动应用的两倍以上；

2、可将真空密封的高精度螺栓拧紧到精确的规格，减轻了工厂工程师的重复性工作负担，如果手动操作，错误率高达5%，还可精确满足规格可消除可能导致工具停产并影响芯片产量的腔室温度偏差；

3、可使用自动化和清洁技术来清除腔内侧壁的任何聚合物积聚，而无需拆卸下腔。

这意味着，Dextro能为工厂内的工程师和技术人员提供支持，分担通常耗时、容易出错或危险的维护任务。

一个典型的晶圆厂将拥有数百种设备，每种设备都需要定期、复杂的维护。准确、可重复的维护将有助于减少浪费、劳动力和生产停机时间，从而减少生产的变异性并提高晶圆厂的产量，降低成本。

泛林表示，目前单个Dextro协作机器人能为50到100个泛林工具腔室提供服务，目前泛林集团的Flex®G和H系列电介质蚀刻设备都支持由Dextro进行维护，自2025年开始将扩展至其它工具和应用。

三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人Young Ju Kim表示：

“当制造设备需要维护时，必须快速有效地完成工作，以避免延长工具停机时间和浪费成本。”他说，“Dextro的无差错维护有助于提高生产变化性和产量，这是三星迈向自动化工厂的激动人心的里程碑。”

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