佳能公司推出了专为小型晶圆设计的FPA-3030i6 i-line步进机。这款创新的光刻系统不仅针对直径为8英寸（200毫米）或更小的晶圆进行了优化，还通过一系列技术革新，显著提升了生产效率与制造灵活性，为功率器件及新兴半导体器件的制造注入了新的活力。

FPA-3030i6的核心亮点在于其新开发的高透射率、高耐久性投影镜头。这款镜头采用先进的玻璃材料制成，相比前代产品，其透射率显著提升，有效降低了高曝光量工艺中的镜头像差，从而缩短了曝光时间并提高了图案保真度。

得益于镜头性能的提升，FPA-3030i6在8英寸晶圆的标准生产率上实现了显著飞跃，从每小时123片提升至130片，为制造商带来了更高的产能和更低的成本。此外，镜头的耐用性设计确保了在整个系统使用寿命期间，透射率不会显著下降，从而保障了持续的生产力。

FPA-3030i6还提供了丰富的可选配置，包括特殊衬底晶圆处理系统等，以满足市场对高功率、高效率绿色器件等新兴半导体器件的制造需求。其数值孔径（NA）范围的扩大，使得客户能够为每个器件层选择最佳的NA值，进一步提升了制造的灵活性和精度。