市场监管总局近日批准两项重要标准物质，实现了集成电路纳米线宽的精准溯源至硅晶格常数。这一创新举措标志着我国集成电路制造迈入极微观尺度新时代，对提升芯片集成度与性能至关重要。

纳米线宽作为衡量集成电路工艺先进性的关键指标，其准确性直接影响芯片性能。

中国计量科学研究院团队基于硅晶格{220}方向尺寸，成功研制出7nm、22nm、45nm的纳米线宽标准物质，实现了原子级准确度（<1nm）的计量溯源，大幅降低了测量不确定度。

该成果不仅突破了传统波长计量基准的局限，还构建了高准确度的纳米线宽计量溯源体系，为我国集成电路产业的高质量发展提供了坚实支撑。随着工艺节点的不断缩小，我国集成电路产业将迎来更加广阔的发展前景。