中国电科与三义激光共铸新辉煌
来源:ictimes 发布时间:2024-09-10 分享至微信

在碳化硅这一前沿半导体材料领域,国内两大企业——中国电科48所与三义激光,近期纷纷传来振奋人心的消息,为行业注入了新的活力与希望。


中国电科48所,作为国内半导体设备的佼佼者,其自主研发的8英寸碳化硅外延设备再次实现技术飞跃。此次升级的设备,不仅在速度、质量和稳定性上实现了全面提升,更通过引入先进的激光视觉定位与晶圆自纠偏技术,将自动化水平推向了新的高度。


尤为值得一提的是,新设备还融入了创新的掺杂技术,有效提升了产品良率,进一步降低了生产成本,为碳化硅器件的规模化生产奠定了坚实基础。


与此同时,三义激光也传来了好消息。该公司自主研发的首批6&8英寸碳化硅激光滚圆设备顺利完成生产并正式交付客户,标志着三义激光在高端激光加工设备领域迈出了坚实的一步。这款设备凭借高能激光束的精准加工能力,不仅大幅提高了生产效率,还显著降低了损耗,为碳化硅材料的精细加工提供了前所未有的解决方案。其非接触式加工、全天候无间断运行以及低耗材运行的特点,更是让业界为之侧目。


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