华南理工大学团队突破Micro LED显示屏制造难题
来源:ictimes 发布时间:2024-09-06 分享至微信
Micro LED作为一种新型显示技术,以其在亮度、分辨率、对比度等方面的显著优势被认为是下一代显示技术的有力候选。然而,Micro LED显示屏的制造过程中,如何实现高良率的芯片生产和无损加工,一直是限制其商业化的主要难题。
华南理工大学李宗涛和李家声领导的研究团队在《Journal of Physics D: Applied Physics》上发表了综述文章,系统总结了制造高良率Micro LED显示屏中的技术挑战和前沿技术。文章指出,Micro LED芯片的制造需要极高的品质,接近零缺陷的水平,这在当前的制造工艺中存在诸多挑战。
研究团队探讨了提升外延晶圆品质、减少缺陷、避免刻蚀引起的侧壁缺陷等技术难题,并提出了多种巨量转移技术,如精准拾取转移技术、自对准滚轮转印技术、自组装转移技术、激光辅助转移技术等,以应对Micro LED显示器制造中的挑战。这些技术旨在提高芯片从衬底剥离和连接到显示基板的效率和良率。
文章还强调了检测和修复技术的重要性,指出随着LED尺寸的减小,传统的检测和修复方法面临困难,需要新的技术来满足Micro LED显示屏的高良率要求。研究团队提出了采用AOI检测技术来识别具有外观缺陷和亮度异常的Micro LED芯片,并探讨了芯片修复技术的发展。
总体而言,华南理工大学团队的研究为Micro LED显示屏的高良率制造提供了重要的技术方向和解决方案,有望推动Micro LED技术的商业化进程。
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