随着半导体产业迈向极紫外光（EUV）微影技术时代，高耗能与氢气排放成为制约其可持续发展的瓶颈。

爱德华先进科技（Edwards Technologies Limited）半导体事业部副总经理赵二孝（Frank Jaw）指出，公司凭借创新的氢气循环再生技术，正助力产业实现绿色转型。

氢气作为EUV机台的关键载流气体，其大量消耗与排放对环境构成挑战。爱德华通过长期技术积累，已开发出从燃烧、稀释到循环再生的三代氢气处理方案。

其中，最新的HRS（Hydrogen Recycling System）系统能够直接在厂内将废氢纯化再生，回归EUV制程，实现高达70%的回收率，并有望进一步提升至80%以上，显著减少氢气总用量与碳排放。

HRS采用先进的电化学技术，去除废氢中的杂质并纯化，再压缩至足够压力供EUV制程使用，既安全又高效。该技术不仅不影响制程效率与良率，还通过优化泵浦与处理效率，使整体能耗在五年内降低了49%。

在全球绿能普及与能源价格上涨的背景下，HRS的投资回报率（ROI）将进一步提升，为客户带来显著的经济效益与环境效益。