国产SiC激光剥离技术突破:年产2万片高效能设备投产
来源:ictimes 发布时间:2024-08-27 分享至微信

在半导体材料领域,一项重大的技术创新正悄然改变着碳化硅(SiC)衬底生产的格局。8月21日,江苏通用半导体有限公司宣布其自主研发的8英寸碳化硅晶锭激光全自动剥离设备正式交付并投入生产,标志着国产SiC设备在高端制造领域迈出了坚实的一步。


这款设备不仅实现了6英寸至8英寸碳化硅晶锭的全自动分片,更以惊人的年产能20000片碳化硅衬底和高达95%以上的良率,展现了其卓越的性能与效率。尤为值得一提的是,其售价仅为国外同类产品的三分之一,为国内企业提供了性价比极高的选择,有力推动了碳化硅产业的国产化进程。


传统上,碳化硅衬底的加工多采用多线切割技术,然而该技术存在加工效率低、环境负担重、材料损耗大等弊端,导致晶片成本高昂,难以大规模应用。而通用半导体的激光剥离技术,则通过激光脉冲在晶锭内部形成非晶化破坏层,再借助外力实现晶片的精准分离,极大地降低了材料损耗,提高了生产效率。据透露,该技术可将总材料损耗率降低至30%-50%左右,为碳化硅产业的成本控制和规模扩张提供了强有力的支持。


此外,通用半导体在技术创新方面的实力也得到了充分展现。早在去年12月,该公司就成功交付了SiC晶锭8英寸剥离产线,并在今年7月利用该设备成功剥离出130um厚度的超薄SiC晶圆片。这些成就不仅彰显了公司在激光剥离技术领域的领先地位,也为碳化硅器件在更广泛领域的应用奠定了坚实的基础。

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