光刻胶清洗去除方法
来源:滤波器 发布时间:2024-07-23 分享至微信
光刻胶作为掩模进行干法刻蚀或是湿法腐蚀后,一般都是需要及时的去除清洗,而一些高温或者其他操作往往会导致光刻胶碳化难以去除。
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