混合键合技术:引领高密度垂直连接新潮流
来源:ictimes 发布时间:2024-06-25
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随着半导体技术的飞速发展,混合键合技术正成为行业的新宠。该技术通过精准堆叠多个芯片,实现了前所未有的高密度垂直连接,从而显著提高了单位面积内晶体管的数量和性能。
IMEC的研究团队已经成功展示了晶圆对晶圆键合技术,其键合距离仅为400纳米,远小于当前商业化芯片的间隔。这一突破性的进展,为半导体制造领域带来了新的可能。
为了实现高精度的混合键合,化学机械平坦化(CMP)技术至关重要。通过CMP技术,晶圆表面能够达到极高的平整度,为芯片间的无缝连接提供了坚实基础。
此外,混合键合技术对于高带宽存储器(HBM)的发展具有重要意义。它不仅能够减少HBM的厚度,还能提高散热性能,使得高端GPU能够处理更多数据,满足大型语言模型等复杂应用的需求。
展望未来,混合键合技术将持续进化。预计将与背面供电技术相结合,进一步缩小键合间距,并可能拓展至氮化镓等其他材料,为半导体制造带来更多创新和突破。
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