需求拉动,国产电子束量检测设备迎增长空间
来源:ictimes 发布时间:2024-06-18
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近年来,半导体量检测设备在整个芯片制造工艺中扮演着关键角色,确保产品质量的稳定性和一致性。根据SEMI的数据,到2024年,半导体量检测设备的需求预计将占全球半导体前道制造设备市场的11%。其中,中国大陆的支出规模将达到30亿美元,成为除了光刻机、刻蚀机、薄膜沉积三大核心设备外,需求占比最大的细分市场,显示出快速增长的趋势。
在众多量检测技术中,电子束量检测设备由于其高精度和适用性,正变得越来越重要。特别是在半导体工艺节点不断微缩的情况下,电子束量检测设备对于高分辨率和高灵敏度的要求极为严格。目前,这一市场主要被AMAT、Hitachi和ASML等国际大厂主导,国内的电子束量检测设备国产化率仍然较低。
然而,一些中国企业已经在这一领域取得了显著进展。例如,东方晶源率先推出了电子束缺陷检测设备EBI和关键尺寸量测设备CD-SEM,填补了国内的市场空白。其他公司如精测电子也在积极布局电子束检测市场,部分产品已经实现交付。这些进展对于提高中国半导体制造业的自主可控性具有重要意义。
电子束量检测设备市场的持续扩大,源于其在集成电路制造工艺中不可替代的作用。该设备通过扫描晶圆表面,检测微小缺陷和电性问题,确保生产过程中的每一步都保持高良品率。随着技术的不断进步,电子束检测与光学检测结合使用,进一步提高了检测的速度和精度,保障了芯片制造的质量和效率。
总结来看,国内半导体设备企业在电子束量检测技术上的突破,不仅提升了自身的市场竞争力,也为中国半导体行业的发展提供了坚实的技术支撑。未来,随着更多本土企业的加入,这一市场将迎来更广阔的发展空间。
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