ASML携手Imec启用测试实验室,推动High-NA EUV技术商用化
来源:ictimes 发布时间:2024-06-05 分享至微信

为了满足半导体行业对高精度生产设备日益增长的需求,ASML携手比利时微电子研究中心(Imec)在荷兰费尔德霍芬启用了全新的High-NA EUV微影设备测试实验室。


这一实验室的启用,标志着High-NA EUV技术商业化进程迈出了重要一步。High-NA EUV微影设备以其高达3.8亿美元的价格成为业界焦点,但其带来的技术革新和性能提升,无疑将推动半导体制造技术的飞跃。


该实验室的设立,为芯片制造商和供应链伙伴提供了宝贵的试用平台,让他们能够亲身体验High-NA EUV技术的强大性能。


目前,ASML已收到多家企业的订单,预计将在2025至2026年间将High-NA EUV设备投入商用产线。作为全球半导体行业的领军企业,英特尔已在其研发晶圆厂中安装了High-NA EUV原型机,并计划在未来制程节点中广泛应用该技术。


然而,尽管High-NA EUV技术具有巨大潜力,但高昂的成本和技术挑战仍是企业需要面对的问题。此次ASML与Imec的合作,不仅加速了技术的研发进程,也为行业的未来发展提供了有力支持。


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