南京大学突破碳化硅加工技术:激光切片引领新潮流
来源:ictimes 发布时间:2024-05-06
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南京大学近日在半导体材料加工领域取得了显著突破,成功研发出大尺寸碳化硅激光切片技术,这一创新技术为我国在第三代半导体材料加工领域注入了新的活力。
碳化硅作为重要的半导体材料,在多个关键领域具有广泛应用。然而,传统的加工方法存在材料损耗大、加工效率低等问题。南京大学的技术团队针对这些问题,研发出了激光切片技术,有效降低了材料损耗,提高了生产效率。
激光切片技术不仅具有高精度、高效率的特点,还能有效控制晶片表层的裂纹损伤,提升后续加工质量。与传统技术相比,激光切片技术能够生产出更多、更薄的晶圆,显著提高材料利用率和产能。
此外,南京大学研发的激光切片设备还具有广泛的应用前景。它不仅能够处理碳化硅材料,还能用于氮化镓、氧化镓、金刚石等材料的加工,展现出强大的技术实力和广泛的应用潜力。
这一技术的成功研发,不仅展示了南京大学在半导体材料加工领域的实力,也为我国在全球半导体产业竞争中赢得了先机。
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