不采3D堆叠?传三星10纳米以下DRAM拟以4F Square Square突破
来源:DIGITIMES 发布时间:2023-06-02
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三星电子(Samsung Electronics)传将研发4F Square DRAM记忆单元结构,可在不改变节点的情况下,将晶粒(die)面积缩小为目前的30%左右。
韩媒Theelec引述业界消息指出,三星近期为了实现4F Square单元结构DRAM量产,于半导体研究所内部成立研发小组。据悉,三星认为比起将DRAM 3D堆叠,投入4F Square结构研发更加可行,随着10纳米以下DRAM制程线宽缩小技术已面临极限,因而制定采用4F Square的目标。
三星计划研发的4F Square,最大的特徵在于垂直向上的晶体管(transistor)结构,从下而上分别为源极(source)、闸极(gate)、汲极(drain)、电容器(capacitor),并将字元线(Word line)和位元线(Bit line)分别连接闸极和源极,如此一来字元线和位元线间隔各为2F,形成4F Square结构。
由于单元结构完全改变,制程也将大幅变动,估计需经历长期的试错过程。不过,如果最终成功,晶粒面积将有望缩小为原本的30%左右。
业界相关人士表示,DRAM业界自2010年代初期积极研发4F Square单元结构,但因制程难度相当高,基本上以失败告终。随着DRAM技术即将发展到10纳米以下,以当前的结构难以再缩小线宽,三星因而选择研发4F SQUARE结构,DRAM市场上的两大竞争业者SK海力士(SK Hynix)及美光(Micron)则选择朝3D技术发展。
另外,据传三星以4F Square技术进入10纳米以下节点后,将再以直接接合(direct bonding)的方式进行2层堆叠,进入下一代制程。
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