集微网消息，3月25日，深圳市光明区人民政府印发《深圳市光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施》（以下简称《若干措施》），重点推动中试平台、封测平台等公共服务平台建设，着重提升智能传感器创新产品研发能力，重点聚焦消费电子、智能驾驶、智能机器人、工业控制等应用领域发展基于MEMS 工艺的智能传感器产品，并对承担国家发展改革委、工业和信息化部、科学技术部等部委开展的集成电路领域重大项目、重大技术攻关计划和重点研发计划项目予以支持。

《若干措施》包括推动重大项目落地、提升产业创新能级、支持企业做大做强、加快重点行业示范应用四个部分。

推动重大项目落地

支持建设智能传感器MEMS中试线。支持引进国内外一流MEMS晶圆制造产线建设运营机构，在光明区建设一条兼具研发中试和量产能力的亚微米级8英寸MEMS中试线，重点推动深硅刻蚀、薄膜沉积、薄膜应力控制等核心制造工艺升级，形成标准工艺设计工具包（PDK），面向市内外有关企业提供研发中试和批量代工服务。对项目涉及的相关主体采取“一事一议”方式予以支持。

支持建设MEMS先进封测公共服务平台。依托MEMS中试平台，鼓励国家级MEMS封测龙头企业建设智能传感器先进封测服务平台，鼓励区内相关企业利用自有封测产线承接封测服务平台服务需求，共同为企业提供封装方案设计与仿真、封装组装、测试包装等工艺定制化开发和产品封装代工服务，满足不同类别、不同原理的传感器测试需求。对建设先进封测服务平台，按照项目实际投资的40%，给予最高不超过1000万元补贴。对企业将自建封测线对外开放，配合区级智能传感器先进封测服务平台承接封测服务的，按服务合同额的10%，给予每年最高200万元补贴。

开展精准靶向招商。设立规模不少于50亿元人民币的智能传感器产业发展基金，开展股权投资，强化招商引资。瞄准智能传感器行业领军企业，引进国际领先的消费、汽车、工业智能传感器整合元件制造商（IDM）落地。对经认定的重大项目落地建设予以支持，按项目实际投资额的20%，给予最高不超过5000万元奖励。

提升产业创新能级

支持企业首轮流片。支持智能传感器企业开展高端智能传感器首轮流片，按照工程产品首轮流片费用（含IP授权或购置、掩模版制作、流片等）的 30%给予补贴，单个企业年度最高补贴不超过300万元。鼓励企业利用光明区MEMS中试平台流片，按首次流片费用的60%给予补贴，单个企业年度最高补贴不超过600万元。

开展关键核心技术攻关。支持智能传感器相关企业或机构开展新型消费电子、智能驾驶汽车、智能机器人、工业互联网、工业控制等领域的中高端智能传感器及智能硬件高端通用器件、关键设备、核心材料、先进工艺等技术研发和产品攻关，支持相关企业与国内顶尖科研机构合作提出自有专利技术。对国家、省、市立项的关键核心技术攻关项目，或国家、省、市级技术研发机构，在光明区建设落地的，最高按市级支持金额的50%予以配套奖励，最高不超过1000万元。

支持企业做大做强

支持企业并购重组。重点支持本地智能传感器芯片设计企业、系统集成厂商、仪器仪表厂商等企业兼并收购国内外智能传感器上下游企业，光明区政府投资引导基金可共同出资参与或提供资金支持。对成功并购国内外智能传感器领域上下游知名企业或研发机构且在光明区建设落地的，按并购金额的10%给予奖励，单个并购项目最高奖励不超过1000万元。

支持建设先进封测产线。聚焦硅通孔技术（TSV）、3D 集成封装等先进封装技术研发和产业化需求，重点支持国内外智能传感器龙头骨干企业在光明区建设先进封装量产线，按照固定资产实际投入的 10%给予补贴，单家企业累计补贴最高不超过1000万元。

加快重点行业示范应用

加快新型智能传感器产业化进程。鼓励面向新型消费电子、汽车电子、工业控制等领域开展新型智能传感器研发和产业化。对率先在全球实现产业化应用，或率先突破国外垄断的智能传感器产业化项目，按项目实际投资20%的比例给予一次性奖励，最高不超过500万元奖励；对采购该类智能传感器产品的，按首年度采购金额的10%，单种产品最高不超过500万元奖励，单家企业累计不超过1000万元奖励。

加快智能传感器应用推广。制定区级智能传感器产品目录，鼓励市场主体加大产品研发与制造。通过双向奖励方式，鼓励智能传感器企业在消费电子、汽车电子、智能制造、物联网、工业自动化等领域进行产品应用推广。对于企业销售自主研发设计的智能传感器芯片或模组产品，且企业年度销售金额累计超过500万元的，按年度销售金额增量的20%，给予最高500万元奖励；对于企业采购此类产品，且年度采购金额累计超过500万元的，按年度采购金额增量的20%，给予最高500万元奖励。（校对/赵碧莹）