Ram Technology一审胜诉,韩国唐津氟化氢工厂建设有望重启?
来源:刘沁宇 发布时间:2023-04-11 分享至微信
集微网消息,据THEELEC报道,就氟化氢新工厂建设问题,Ram Technology在与韩国忠清南道唐津市展开的行政诉讼第一次判决中胜诉。
报道指出,3年来毫无进展的Ram Technology唐津氟化氢工厂的建设有望重新启动。但是唐津市表示将提出上诉,因此是否重新启动工程可能要等到最终审判结束。
氟化氢是一种在半导体制造过程中可以干净地去除晶圆上各种残留物的物质。2019年7月,日本政府限制对韩出口高纯度氟化氢、氟化聚酰亚胺、光刻胶三种关键半导体材料。
Ram Technology决定在唐津市新设氟化氢工厂也是在这个时候。但唐津市于2021年8月以“氟化氢是危险物质”为由,决定不允许建设工厂,从而使该公司的计划陷入困境。此后,Ram Technology提起了行政诉讼并在第一次判决中胜诉。(校对/韩秀荣)
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