年产120台化合物半导体MOCVD设备封顶!
来源:半导体圈子 发布时间:2023-02-27 分享至微信

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来源:化合物半导体市场


2月18日,中晟光电设备(上海)股份有限公司位于临港的研发和生产基地建设项目主体结构顺利封顶。


据了解,项目建筑面积21,180.73平方米,包含千级洁净室1,700平方、万级洁净室4,000平方、十万级洁净室2,000平方,涵盖了办公、研发、生产、会议、培训等众多区域。


项目建成后可实现年产化合物半导体120台MOCVD设备,研发中心将具备完整的第二代、第三代半导体材料研发测试,覆盖各种MOCVD设备技术和工艺研发/产业化的综合能力。



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中晟光电成立于2011年,位于上海张江。公司专注于研发和生产用于制造LED、第二/三代半导体元器件的MOCVD设备,是国内少数拥有自主核心技术的MOCVD制造企业之一。


第三代半导体方面,中晟光电逐年扩大在第三代半导体产业的发展。2020年,公司的第三代半导体GaN分立器件用ProMaxy® PD设备就已进入市场评估验证阶段;公司获得由上海浦东科创集团有限公司领投的1.13亿元资金,用于研发和生产第二/三代半导体分立器件高端设备。


2022年9月,公司成功向国内客户发运首台砷化镓/磷化铟(GaAs/InP)外延MOCVD(金属有机化合物化学气相沉积)设备ProMaxy PE。


LED方面,据人民网报道,公司曾与中微公司一同在LED照明领域打破了德国爱思强和美国Veeco对中国市场的长期垄断。


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