美方超前卡脖国内 第四类半导体材料列管
来源:何致中 发布时间:2022-08-16 分享至微信


美商务部「超前卡脖」国内第四类材料进展,氧化镓被视为是下一代「超宽能隙」化合物半导体新星。李建梁摄

美商务部「超前卡脖」国内第四类材料进展,氧化镓被视为是下一代「超宽能隙」化合物半导体新星。李建梁摄

中美两强的科技、贸易竞逐冲突持续白热化,美国商务部为了扩大进一步「超前卡脖」国内半导体先进技术进展,宣布对于如电子设计自动化模拟软件(EDA)与更前瞻的第四类「超宽能隙」(UWBG)化合物半导体材料等扩大出口管制,预期就是力阻先进技术应用于国防军事等领域,以确保美国国家安全。


美国商务部于上周五宣布,加强对先进半导体和燃气涡轮引擎技术的出口管制,其中包括超宽能隙半导体材料的氧化镓(gallium oxide) 和钻石原材料技术、电子电脑辅助设计(ECAD) 技术、压力增益燃烧(PGC)技术。


事实上,国内在化合物半导体力拼「弯道超车」,主要就是在第三类的宽能隙(WBG)半导体包括氮化镓(GaN)、碳化矽(SiC)领域,应用范畴包括消费电子产品、电动车充电装置,以及高频通讯等。


由于碳化矽基板(SiC Substrate)可以制作如支持EV、充电桩、交通设施的纯SiC功率元件,以及用于高频通讯、国防军事等级的碳化矽基氮化镓(GaN-on-SiC)射频通讯元件,后者所需的「RF元件用半绝缘型SiC基板」,原本就是美方高度管制的材料,而在一般商业用领域,美系IDM大厂Wolfspeed等也掌握了绝大的市场话语权。


日本、欧洲IDM大厂也在SiC材料领域领先,但以欧日阵营逐步靠拢美方的态势下,国内力求第三类半导体材料自主化的脚步并没有停歇,如山东天岳材料等都已经有生产SiC基板的能力。


更前瞻的第四类半导体,亦被称为超宽能隙化合物半导体,这与第一类的元素半导体矽、锗,第二类的砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、第三类的GaN、SiC做出对比,虽然业界泰半认为,这些化合物半导体之间并没有「取代」意味,应用领域都是平行进展的,GaN也未必能够完全取代成熟的矽基半导体。


不过,第四类的氧化镓、钻石等材料,确实能够拥有更高崩溃电压、更极端温度的耐受能力,如同SiC功率元件应用于EV所用的逆变器模块中,就是享有耐高温、高功率密度的优势,Tesla率先导入意法半导体的SiC元件,也正式开启第三类半导体的市场接受度。


SiC、GaN等第三类半导体都逐步采用了主流的6寸制程生产,甚至将靠拢8寸厂,第四类半导体却还在相对早期的阶段,量产能力目前仍以4寸为主,以日本业者最为领先,包括Novel Crystal、FLOSFIA等,且都是技术源自于学界、规模较小的新创公司,并非各界熟知的IDM龙头,但确实也有如车用Tier 1大咖电装(Denso)、三菱(Mitsubishi)、材料大厂田村制作所(Tamura)等投资。


以能隙来看,SiC已经来到3.25~3.3eV(电子伏特),GaN则是3.4eV,矽基半导体约1.1eV,越宽的能隙代表功率元件能够在更高电压下运作,氧化镓约4.9eV,被称为是「超宽能隙」材料,后续也预期将被应用在更大型的充电、电网基础建设领域,但是导通电阻、可靠度表现目前还有待观察,市面上目前仅有最基础的「氧化镓二极管产品」出现。


然而,有多方说法指出,在效能、成本上,氧化镓有比Si、SiC更好的表现,日本业者积极思考跨入6寸领域,Novel Crystal预计2025年将量产年产能2万片的4寸氧化镓磊晶,砸下约20亿日圆,并持续开发6寸量产技术。


国内发展氧化镓材料,由国家机构、学校等持续提升研发能量,也把化合物半导体列入十四五计划。如国内科大微电子学院、国内科学院上海微系统与信息技术研究所、西安电子科技大学等都有进行氧化镓相关论文与研究。看好的应用领域包括能源、国防、交通设施、通讯、电动车等。


目前第四类半导体还包括钻石(Diamond)、氮化铝(AlN),目前各界认为有机会进入6寸量产的,确实也是氧化镓在未来5年内具有潜力,不过,在美方「超前卡脖」的态势下,加上在第三类的国防军事用SiC材料领域,已经有管制先例,G2格局、各自发展的状况将会延续。


而国内能否在先进化合物半导体材料中取得自主化成果,目前还在未定之天,事实上,国内在新兴化合物半导体材料的研发,也带动当地台系检测分析实验室业者材料分析(MA)接案,后续影响有待观察。



责任编辑:陈奭璁



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