
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究团队在《ACS Applied Materials & Interfaces》期刊上发表了题为“Long-Range Orbital Hybridization in Remote Epitaxy: The Nucleation Mechanism of GaN on Different Substrates via Single-Layer Graphene”的文章。文章第一作者为博士研究生屈艺谱,合作者为徐俞副研究员、徐科研究员以及苏州大学曹冰教授。
该团队采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)在两种覆盖单层石墨烯(SLG)的极性衬底(Al2O3和AlN)上实现了氮化镓成核层(GaN NLs)的远程外延。研究发现,衬底极性对石墨烯上GaN的成核密度,表面覆盖率和扩散常数起着关键作用。考虑到表面覆盖和衬底污染引起的成核信息差异,通过缩放的成核密度校正了这种误差,得到了衬底极性和GaN成核密度的对应关系。结晶特性分析表明,衬底和外延层的界面外延关系不受单层石墨烯的影响,与传统外延的取向关系一致。为了揭示成核信息差异背后的物理机理,通过理论计算作者发现衬底增强了单层石墨烯上的Ga和N原子的吸附能,且极性较强的AlN相比Al2O3的吸附能更大,AlN和吸附原子Ga之间存在更高的差分电荷密度(CDD)。进一步通过分波态密度(PDOS)分析发现,尽管吸附原子Ga和衬底相距4-5Å,Al2O3和AlN中Al-3p和Ga-4p轨道在费米能级附近仍存在轨道杂化。
作者认为在远程外延中,单层石墨烯的存在不影响衬底和吸附原子之间的化学相互作用,这种远程轨道杂化效应正是在极性衬底上远程外延GaN NLs的本质。通过导电胶带可以轻松剥离GaN NLs,而且剥离后的衬底表面没有机械损伤,有望发展一种高质量衬底的低成本制备技术。





综上
该研究工作讨论了在石墨烯调控的氮化镓远程外延机理,创新性的提出了远程轨道杂化的概念,充分探讨了GaN和衬底之间的界面关系和界面耦合特性,揭示了远程外延的物理和化学机理,为快速、大面积制备单晶GaN薄膜拓宽了思路。
这项工作得到了国家自然科学基金国家重点项目(No. 61734008,No. 62174173)的资助。
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