“好地方”彰显磁力，听扬州半导体“补链强芯”故事

近日，从中科院苏州纳米所传来喜讯：扬州群发换热器有限公司委托该所试样的OPA3D固态激光雷达芯片获得成功。“下一步，我们将搭建光电芯片测试平台，融资建设中试线，计划在2-3年内实现产业化。”扬州群发董事长庄雅婷介绍。

OPA3D固态激光雷达芯片试制成功，是扬州半导体产业强链扩链的生动细节。市工信局有关人士介绍，半导体产业分为集成电路（芯片）、分立器、传感器等，目前我市半导体产业主要集中在分立器和传感器领域，共有规模以上企业18家。近年来，我市出台多项政策引导企业强化科技创新，加快“补链强芯”，不少企业正在向我市半导体产业链短板——集成电路制造挺进。

引进芯片前沿技术，海归人才领衔企业“二次创业”

相比传统机械雷达，OPA3D固态激光雷达将机械部件功能集成在芯片上，扫描精度和效率更高，且图像是三维立体化输出，被普遍认为是无人驾驶汽车的关键部件。此外，该芯片在智能安防、智慧医疗领域也有广泛应用前景，是全球企业争夺未来视觉扫描市场的焦点。

芯片设计涉及计算仿真、微纳米加工等多学科前沿技术。扬州群发长期生产汽车的冷却系统，实现从汽车零部件到芯片的跨越，缘于整合国内外高校的最新研究成果。

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去年，一位国际知名教授来扬访问，庄雅婷得知这位教授正在研发OPA3D固态激光雷达技术。经过这位教授牵线，庄雅婷从其供职的高校获得授权，在扬州落地转化芯片技术。

庄雅婷12岁时，父亲送她出国留学。3年前，父亲一个电话，庄雅婷放弃国外工作归国，在扬州群发多个岗位历练后，接棒父亲出任董事长。

“扬州是个好地方，是父亲创业的福地。”庄雅婷表示，“我也相信，扬州群发经过‘二次创业’，会成为扬州集成电路产业的骨干企业。”

与韩国技术团队合作，在扬创业的行业大咖研发芯片制造设备

扬州群发在中科院苏州纳米所试制芯片时，扬州思普尔科技正在与韩国技术团队紧密合作，研发半导体芯片制造用等离子去胶机、涂胶机和显影机等关键工艺设备，力争早日实现量产，打破国外的技术垄断。

集成电路产业链由设计、制造、封测三个子产业以及支撑配套环节（材料、设备）构成。目前，扬州在集成电路的制造设备产业上还是空白。“预计明年3-4月项目到国内转产，届时，将为国内芯片制造企业提供更多选择，助力国内大规模集成电路和第三代化合物半导体芯片制造业的发展。”思普尔科技总经理张桂阳介绍。

思普尔科技从事半导体工艺设备的研发、生产与技术服务，2018年落户邗江科技企业上市基地，当年销售1600万元，今年预计销售过亿元。

思普尔科技的核心高管，都曾在国内知名科研院所或海外半导体机构担任研发高管，具有丰富的工厂化技术实践经验。张桂阳介绍，2010年，他和技术团队从香港来扬，帮助一家企业建设生产线，项目结束后，就留在扬州创业。

“扬州是个好地方，是创新的沃土。”张桂阳说，“在邗江科技企业上市基地的牵线搭桥下，我们与扬大联合开展科技协同攻关，此外建设专业实验室也得到了资金扶持。”

整合众多名校资源，7名教授研发团队完成高纯度电子气体中试

在江都经济开发区，一个等离子集成电路清洗设备项目预计明年3月投产，将填补我市在集成电路清洗（净化）设备上的空白。该项目通过自主研发的技术，在集成电路等离子体刻蚀工艺中实现废液零排放。

“扬州是个好地方，营商环境一流，是企业发展的宝地。”该项目生产经理张斌介绍，“落户后，扬州不但给予了我们千万元天使基金扶持，而且提供了3000平方米厂房，让我们有了更大发展空间。”

集成电路制造专用材料环节中，我市仅有少数企业涉足硅片和硅基材料，在电子气体、光刻胶、掩膜版等领域尚属空白。

高纯度电子气体，是集成电路制造中的基础性材料，生产技术长期被国外气体公司垄断。

今年8月，扬州摩笛尔电子材料有限公司完成“特摩尔”高纯度电子气体的中试，量产后将填补我市产业链上的空白。

扬州摩笛尔能够打破垄断，缘于核心团队的7位教授整合哈尔滨工业大学（深圳校区）、华东理工大学、西南科技大学、上海交大的实验室资源，在原始技术创新、工程设计、技术应用等环节实现了突破。

“产品研发成功，离不开扬州各级政府部门的大力支持。”杨先金博士介绍，“扬州在资金扶持上给我们很大帮助，我们有信心早日把企业做大做强。”