尹志尧张汝京罕见同台，力挺国产设备

5月16日，中微公司董事长尹志尧在央视财经《对话》节目中表示，国内客户对国产设备存在“先入为主”的观念，认为国外设备更优。尽管如此，中微公司已成功打破国外刻蚀机领域的长期垄断，并在先进制程中崭露头角。

被称为“中国刻蚀机之父”的尹志尧，曾在美国深耕数十年，手握数百项专利，参与托起两家世界顶尖设备公司。60岁时，他放弃百万年薪回国创业，带领团队从零开始。22年后，中微公司市值突破2000亿元，其设备进入台积电5纳米、3纳米先进制程供应链，尹志尧也恢复了中国国籍。

创业初期，尹志尧得到了中芯国际创始人张汝京的大力支持。张汝京表示：“试新设备一定有风险，但我们会小批量试用，逐步验证。”正是这种包容与信任，让中微设备快速完成验证迭代。尹志尧透露：“截至目前，中芯国际的设备中至少有800台来自中微。”

尹志尧强调，国产设备进入生产线初期难免存在问题，但这并非技术能力不足，而是环境差异所致。他以自身20年美国工作经验为例：“海外设备厂商的新设备进入台积电、三星等先进产线时，也需要两三年调试改进。国产设备同样需要客户的支持与反馈。”

中微公司在技术创新上也取得显著突破。尹志尧介绍，中微首创的甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，已成为国际三大设备公司的技术方向，100%的CCP刻蚀机均采用该方法。此外，中微推出的双台机设计实现了单台设备同时刻蚀两片硅片，材料节省30%以上，性能更稳定。

2023年12月，中微公司进军大平板设备领域，仅用18个月就将设备运至生产线并通过核准。这种设备重达150吨，长宽各15米，高达两层半楼，开发难度极高。尹志尧表示：“我们现在已有能力制造最先进的设备。”

张汝京呼吁更多客户支持国产设备：“如果没有人使用，设备永远不会进步。”尹志尧也表示，希望国内客户能给予国产设备更多机会，共同推动中国半导体产业的发展。