中国光阻剂产业加速突破高端市场垄断

据南华早报报道，光阻剂作为半导体微影制程的关键原料，其技术发展备受关注。光阻剂供应大厂徐州博康化学董事长傅志伟在两会期间表示，未来5年将是中国光阻剂技术加速突破与大规模部署的关键期。目前，中国在功率芯片和LED领域使用的G线及I线光阻剂已实现超过20%的自给率，但在高端市场仍面临挑战。

高端光阻剂市场主要由日本和美国企业主导，包括JSR、东京应化工业（TOK）、信越化学工业（Shin-Etsu Chemical）等，这些外资企业占据中国高端市场近95%的份额。其中，KrF与ArF光阻剂的自给率分别仅为3%和不到1%。傅志伟透露，博康已实现从单体、树脂到最终产品的完整产业链自主化，并在KrF和ArF光阻剂领域取得突破，相关产品已通过领先晶圆代工厂验证并进入量产阶段。

此外，专注生产ArF光阻剂的南大光电在2026年2月宣布年产能达50公吨，可满足初期订单需求。上海新阳半导体材料、彤程新材和晶瑞电子材料等企业也在逐步向高端市场迈进。