鲁汶仪器启动上市辅导，专注半导体设备研发

1月22日，据证监会官网披露，江苏邳州一家专注于半导体设备的企业——鲁汶仪器，已在江苏证监局完成上市辅导备案登记。

公开资料显示，鲁汶仪器专注于为集成电路制造领域提供高端装备与工艺解决方案。其研发方向覆盖逻辑、存储、功率器件、光学及微显示等关键工艺环节，推出了多款行业领先的设备，包括离子束塑形设备（IBS）、离子束沉积设备（IBD）、电感耦合等离子体刻蚀设备（ICP）、薄膜沉积设备（CVD）以及气相分解金属沾污收集设备（VPD）等，广泛应用于晶圆制造与检测环节。

据其官网信息显示，截至2022年，鲁汶仪器已完成9轮融资，最新一轮为2022年的E+轮融资。目前，Leuven Instruments以19.82%的持股比例成为控股股东。此外，中国科学院微电子研究院也是其股东之一，持股比例为2.98%。