近日,聚和材料宣布通过与韩投伙伴(上海)创业投资管理有限责任公司共同设立特殊目的公司(SPC),以680亿韩元(约合人民币3.5亿元)收购SK Enpulse株式会社旗下空白掩模(Blank Mask)业务全部资产。交易完成后,聚和材料将间接持有该业务不低于95%的股权,实现绝对控股。
据披露,此次收购标的的主要产品为适配DUV-ArF及KrF半导体光刻工艺的掩膜基板,主要应用于PSM相移掩模版。目前,该产品已通过SK海力士、TMC、新锐光、迪思微、中微掩模等国内外半导体客户的量产验证,并实现稳定销售。
关于SK海力士相关资产出售的原因,据聚和材料透露,该业务原属SK Enpulse旗下子公司,定位为“内部供应为主、外部供应为辅”。这一布局始于2010年前后,当时全球掩膜基板市场主要由日本企业主导,韩国企业对关键材料“卡脖子”问题存在担忧。为此,SK海力士于2016年开始构建该事业部,并于2018年实现投产。然而,由于规模效应不足,难以充分发挥技术优势,SK Enpulse决定引入第三方合作,推动该业务在中国的本土化和规模化发展。
空白掩模版是光刻工艺的核心原材料,其制作过程包括在超高纯度石英基板上完成切磨抛、清洗、镀膜、光刻胶涂胶及测试等工序。掩模版作为光刻工艺的图形母版,其功能类似于传统照相机的“底片”,每款新设计的芯片都需要匹配一整套掩模版模具。
目前,掩模版厂商主要分为两类:晶圆厂自建的in-house厂商和第三方独立生产厂商(Mask Shop)。SKE旗下Blank Mask公司经过近10年的技术积累,在关键性能指标上明显优于竞争对手,有助于加速生产节拍、简化工艺控制,从而降低成本并提升产品品质。