深圳：晶圆制造装备力争“从0到1”突破

芯榜深圳消息，3月26日，深圳市工业和信息化局、科技创新局、财政局联合发布《深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施》，其中指出要突破重大装备技术。围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备，以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等，力争实现“从0到1”的突破，解决尖端技术“卡脖子”问题。

实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备；曝光机等面板制造前、中道制程设备；超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床；高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器；重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目，按比例最高给予3000万元资助。

以下为《深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施》全文：

为落实市委市政府关于“20+8”战略性新兴产业和未来产业集群发展的规划和部署，增强装备产业集群的基础支撑作用，依据《广东省人民政府关于培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群的意见》《深圳市人民政府关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》《深圳市委办公厅 市政府办公厅关于加快发展新质生产力进一步推进战略性新兴产业集群和未来产业高质量发展的实施方案》等文件精神，结合我市实际，制定如下措施。

本措施旨在加快推动新产品、新技术与新工艺在工业母机、机器人、精密仪器设备、轨道交通装备、海洋工程装备和高技术船舶等产业集群的研发及产业化应用推广，对符合条件的产品、平台和项目，在产业政策、资金扶持、产业空间、人才奖励、平台服务等方面予以重点支持。针对重大战略性原创性项目，通过“重大科技攻关专项+首台（套）政策+市政府引导基金扶持+后奖补”予以特别支持。

一、突破重大装备技术

围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备，以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等，力争实现“从0到1”的突破，解决尖端技术“卡脖子”问题。

（一）实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备；曝光机等面板制造前、中道制程设备；超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床；高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器；重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目，按比例最高给予3000万元资助。（责任单位：市科技创新局、市工业和信息化局）

（二）推动重大技术装备验证与应用。通过“试用+提升+采购”应用机制，鼓励下游制造企业首次试用我市企业研制的填补国内空白或打破国际垄断的重大技术装备，按照可对标的同类型设备市场销售价格，按比例对本地制造企业试用用户给予一次性试用补贴，单台装备最高不超过100万元。（责任单位：市工业和信息化局）

（三）引入重大技术装备攻关人才团队。大力引进承担重大技术装备攻关项目任务的人才团队和个人，对于符合深圳市高层次人才相关政策的人才，享受相应高层次人才奖励补贴和杰出人才工作经费资助。（责任单位：市工业和信息化局、市人力资源保障局）

二、突破关键配套基础件

支持装备领域价值占比高、技术难度大、国产化率低的关键配套基础件研制，重点突破高档数控系统、减速器、伺服控制系统、超快激光器等，推动装备企业向产业链、价值链高端环节攀升，着力提升产业链供应链韧性和安全水平。

（四）支持高精密机械结构件等特种材料研制。支持材料企业联合装备企业、科研机构共同研制高性能材料，重点研制减速器、加工刀具、精密轴承、精密丝杆用高强度、耐疲劳金属复合材料、高速电机永磁材料等，对符合条件并列入重点新材料首批次应用示范目录的新材料产品，按照一定期限内销售额，按比例给予最高不超过1000万元资助。（责任单位：市工业和信息化局）

（五）支持精密模具制造和精密加工工艺开发。鼓励模具企业提升模具设计和精密加工能力，研制耐磨性、韧性、抗疲劳性优异的模具产品，支持加工精度向亚微米级提升。鼓励机械结构件制造企业提升精密加工能力，围绕高精密RV、谐波减速器、高精密线轨和丝杠、主轴等装备核心结构件，支持量产产品中的核心关键工艺加工精度向IT5、IT4、IT3及以上等级提升。（责任单位：市工业和信息化局）

（六）支持数控系统和工控系统等研制。支持企业重点研制基于自主可控核心芯片和操作系统的机床数控系统，PLC（可编程逻辑控制器）、DCS（分布式控制系统）等工业自动化控制系统。支持企业开发嵌入式操作系统、开发支撑软件、工业控制先进算法等基础软件和工业软件，对于符合条件的首版次软件，按一定时期内审定销售额，按比例给予最高不超过1000万元的资助。（责任单位：市工业和信息化局、市发展改革委、市科技创新局）

三、提升装备智能化水平

面向装备智能化、数字化、网联化发展趋势，支持装备企业运用数字化、网络化技术研制智能网联装备，提升装备和关键工序数字化水平，促进我市制造业数字化转型，推动信息化和工业化深度融合。

（七）支持装备智能化网联化系统研制和应用。支持装备企业研制用于装备数据采集、联网上云、在线检测、异构网络互通、船舶远程运维的系统模块，提升制造业数字化转型的智能化网联化能力。鼓励实施技术改造项目的企业采购具有深度感知、智慧决策、自动执行功能的工业互联新型装备。鼓励企业通过技术融合、设备集成和二次开发形成解决方案，提升装备在智能制造领域的应用水平。（责任单位：市工业和信息化局）

（八）支持自主可控的装备互联协议推广应用。支持数控装备内置或兼容NC-Link互联通信协议标准，工业软件等适配NC-Link互联通信协议标准，形成有利于制造业数字化转型的统一标准；支持数字化工厂/车间应用NC-Link协议标准，形成基于NC-Link协议的工厂/车间数字化解决方案示范，对于相关建设项目，按照NC-Link互联通信协议相关部件和系统采购金额按比例给予最高100万元资助。（责任单位：市工业和信息化局）

四、加强装备推广应用

（九）落实首台（套）保险补偿政策。落实国家首台（套）重大技术装备保险补偿机制，支持鼓励企业按照相关政策申报国家首台（套）保费补贴，对符合条件的投保企业给予适当额度保险补偿，强化保险的风险保障功能，降低用户使用风险，加快首台套重大技术装备研发应用，推动重大技术装备迭代更新。（责任单位：市工业和信息化局）

（十）支持首台（套）重大技术装备推广应用。突出需求导向，强化应用牵引，鼓励企业将具备突破性、先进性的装备整机（含系统）、核心零部件申请纳入《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》。对研制符合首台（套）目录的产品的企业，按照一定期限内产品实际销售总额，按比例给予最高1000万元资助。（责任单位：市工业和信息化局）

（十一）加大采购首台（套）产品力度。引导国企、事业单位扩大首台套重大技术装备采购，依托重大工程等建设首台（套）重大技术装备示范应用项目，相关产品适用尽职免责条款规定。落实《工业和信息化部 国家发展改革委 国务院国资委关于支持首台（套）重大技术装备平等参与企业招标投标活动的指导意见》（工信部联重装〔2023〕127号），支持首台套重大技术装备平等参与企业招标投标活动。（责任单位：市工业和信息化局、市发展改革委、市卫生健康委、市国资委）

（十二）鼓励企业采购首台（套）产品用于技术改造。着力加强对制造业企业老旧设备和生产线的升级改造，支持工业企业围绕扩大产能规模、提升生产效率、提高产品质量、促进技术装备和产品更新换代、改善生产环境等方面加大技术改造，鼓励企业在技术改造升级过程中优先采购列入首台（套）重大技术装备目录的产品，对于采购首台（套）产品用于技改投资的项目在技术改造项目扶持中优先给予资助。（责任单位：市工业和信息化局）

（十三）推动在高端复杂场景和龙头用户企业应用。以能够反映装备在精度、可靠性、效率、能耗和智能决策等方面水平为衡量标准，推动工业机器人、数控机床、激光加工装备、精密仪器设备等通用装备在高端场景的应用，推动半导体制造装备、面板制造装备、动力电池制造装备、光伏电池制造装备、专用精密仪器设备等专用装备在下游龙头用户企业的应用，提升高端应用领域装备国产化率。（责任单位：市工业和信息化局）

五、完善创新生态体系

（十四）支持装备领域大型央企、民企在深圳落户。积极对接装备领域大型央企、民企重大项目，对引进的特大、关键、紧缺项目采取“补投结合”“一事一议”“一企一策”方式予以支持。（责任单位：市工业和信息化局，各区政府、大鹏新区管委会、深汕特别合作区管委会）

（十五）支持装备领域制造业创新中心建设。鼓励企业、科研院所、高校、行业组织等产学研用和上下游联合，在高端装备领域组建制造业创新中心，对制造业创新中心的平台建设、技术研发、示范应用等项目，按比例给予最高5000万元资助。对已拨付的国家和省制造业创新中心资助资金，最高给予1∶1配套资助。（责任单位：市工业和信息化局）

（十六）支持产业公共服务平台建设。面向装备全生命周期共性服务需求，加快关键性、紧缺性公共服务供给。支持建设机器人检测认证公共服务平台、机床加工工艺服务平台、精密仪器校准检测平台、轨道交通装备检测认证服务平台等。对符合条件的平台，按照不超过投资额，按比例给予最高1000万元资助。（责任单位：市工业和信息化局、市市场监管局）

（十七）加大对装备企业金融支持力度。按照“一集群一基金”配置原则，加快设立面向工业母机、机器人等装备领域的专业化投资基金。以“补投结合”的模式，创新高端装备产业项目的支持方式。充分发挥产业投资基金在招商引资方面的重大“推手”作用，通过基金投资促使一批重大项目签约落地。（责任单位：市工业和信息化局、市财政局、市地方金融管理局）

六、加大集群发展统筹力度

（十八）建立政府与市场协同机制。加强市区联动，加大市区联合支持力度，充分发挥战略咨询机构、产业促进机构、专家委员会、重点企业、行业协会等相关单位的支撑作用，协同解决全市高端装备产业发展过程的难点和痛点。（责任单位：市工业和信息化局）

（十九）推动高端装备产业园区建设。拓展制造业发展空间，在工业母机、机器人、精密仪器设备、海洋工程装备和高技术船舶等产业集群分别认定一批具有产业集聚度高、规模效益明显，具备良好公共技术服务能力，园区内企业自主创新能力强的特色园区，对园区投资或管理机构在园区规划、公共服务、信息化建设、招商引资等给予相关支持。（责任单位：市工业和信息化局、各区政府、大鹏新区管委会、深汕特别合作区管委会）

七、其他事项

（二十）制定配套实施办法或操作规程。市政府各部门制定配套实施办法或操作规程，并加强政策措施的绩效评估，根据实施效果进行动态调整。各区政府、新区管委会、深汕特别合作区管委会可以结合本区实际情况，根据本政策措施制定实施办法。本措施由市工业和信息化局负责解释。本措施自印发之日起施行，有效期5年。