台积电设厂效应 三菱化学光阻剂材料厂研拟前进九州

半导体制程中使用的光阻剂，日厂市占率约9成。法新社

三菱化学集团（Mitsubishi Chemical Group）研拟新建1座半导体制程所需的氟化氩（ArF）光阻剂材料的工厂。设厂地点考虑在日本九州北部的福冈县内。设厂费用估计约数十亿日圆（数千万美元）。

日本共同通讯社（Kyodo）、日经新闻（Nikkei）等报导，由于台积电正在日本九州的熊本县新建12寸晶圆厂，吸引众多半导体供应链往九州集中。三菱化学希望加强半导体方面的投资，也有意选择九州作为半导体光阻剂材料的设厂地点。

三菱化学研拟兴建的新厂，是生产ArF用光阻剂所使用的高分子材料的工厂。若新厂完工，将使三菱化学在这项产品的产能，增加1倍。

根据报导，目前三菱化学在日本横滨的鹤见工厂，生产ArF光阻剂的高分子材料，以稳定生产低杂质的高品质而着称。

台积电决定在日本九州熊本县设厂后，相关供应链也纷纷前往熊本或九州投资。光阻剂大厂东京应化工业（TOK），已决定在熊本县与福岛县扩充产能。

三菱化学的高分子材料的日厂客户，在光阻剂的市占，合计达9成左右。

根据Omdia估算，2021年光阻剂全球市场规模18.9亿美元，东京应化工业、JSR的市占，分别都是26%居于首位，再加上信越化学工业（Shin-Etsu Chemical）、住友化学（Sumitomo Chemical）、富士软片（Fuji Film）等日厂，合计达9成左右。

责任编辑：张兴民