南大光电：两款ArF光刻胶已进入批量验证阶段

近日，南大光电发布投资者关系活动记录表，透露旗下已有两款 ArF 光刻胶进入批量验证阶段。

南大光电表示，ArF光刻胶验证阶段主要分为PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及Release（通过验证）四个阶段。公司已有两款胶通过客户验证，多款胶正在验证过程中。验证中的ArF光刻胶因开始时间不一，验证进度也不同，其中有两款胶进入MSTR阶段。

南大光电称，当前公司光刻胶事业部主要任务是尽快完成更多产品的验证，加强市场拓展，争取早日实现规模量产，形成业绩贡献。公司用于生产ArF光刻胶的核心原材料，由公司自主研发，对于国内具备供应能力的原材料，通过外购解决。

同时，南大光电透露，公司去年发行可转换公司债券募集资金9亿元，其中8000万元用于实施“年产140吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目”，计划通过扩建和技改，增加磷烷年产能70吨、砷烷年产能70吨。截至目前，项目已建成70吨砷烷产能和35吨磷烷产能，后续建设正在稳步推进中

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