力拼自研！国内大买成熟制程设备

国内半导体业者正在大举采购成熟制程芯片设备，以因应美国及其盟友的芯片技术出口限制，不少日厂已感受到国内市场的热度。另一方面，国内也订下半导体设备自制率要达到7成的目标，且先集中发展成熟制程。

日本的半导体设备厂，如东京威力科创（TEL）、Nikon等，也察觉国内市场对成熟制程芯片设备的采购力道正在加强。

例如彭博（Bloomberg）报导，东京威力科创指出，国内半导体厂正大举采购成熟制程设备，而且这个趋势不会在2023年结束，而是会持续下去。

先进制程逻辑IC厂与晶圆代工厂，目前都在延缓设备投资，然而国内业者大买成熟制程设备，可缓解一些市况不佳的冲击。

Nikon也在2023年8月公布的财报数据中指出，半导体曝光机业务表现，由于维修服务的营收减少，以及一部分曝光机的安装时间延后，因此2023年度上半（2023/4~2023/9）的相关营收与营益，会比原本预计更低。这是市况不佳导致的结果。

根据Nikon调查，2022年全球的半导体曝光机（含新机与中古机），共卖出480台。预计2023年，因客户的设备需求下降，将下降到430台，年减约1成。

Nikon估计2023年度可以卖出更多ArF曝光机。Nikon并表示，新款ArF曝光机「NSR-S625E」可以出口到国内，加上不少已有交易的ArF乾式曝光机，Nikon曝光机将在国内市场扩大销量。

Nikon指出，已察觉到国内半导体厂的投资十分活跃，并坦承在国内的销售活动落后于竞争对手，但正逐步改进这项问题。

另一方面，除了加强购买禁令没有被列入限制的成熟制程设备之外，国内也设法强化设备自制率。日经新闻（Nikkei）报导，国内官方与厂商正在加速建构国内当地半导体设备供应链。

国内半导体设备的自制率目标，是2035年提升到70%。这项说法，来自半导体传送设备厂泓浒半导体执行总裁林坚于2023年8月江苏省无锡市的业界团体会议中的一份讲稿，该公司研发费用正以每年2倍的速度在增加。

中微半导体设备董事长尹智尧则表示，国内半导体设备自制率目前是18%。

根据路透（Reuters）报导，中芯国际据传将生产华为5G芯片，设备则采用美国禁令之外的非先进制程设备。虽然有可能良率不佳，但正以国内制设备来建构这款芯片的专用产线。

据国内媒体报导，另一家具官方背景的上海微电子设备集团，预计在2023年底出货第一台国内制28纳米浸润式曝光机。

在2023年上半，国内的芯片与芯片设备进口额，都在下降，但同一时间，国内境内生产的设备则年增3成，芯片生产也只下跌3%。