这个光刻胶供应商厂区发生爆炸！

据外媒消息，当地时间7月14日晚上9点30分左右，位于美国路易斯安那州伊贝维尔教区 (WAFB) 、密西西比河沿岸的陶氏化学普拉克明（Plaquemine）工厂发生一系列爆炸。

陶氏化学路易斯安那运营部发表声明称：“陶氏化学紧急行动中心正在与当地和州机构密切合作，以应对路易斯安那州厂区现场发生的事件。已查明所有人员均安全，空气监测未检测到空气中的有害物质。”至于事故原因，目前还在调查当中。

据悉，陶氏化学为全球半导体关键化学材料的重要供应商，陶氏化学不仅拥有高纯度化学品产品线，还提供了一系列的光刻材料，包括光刻胶、光刻胶溶剂、光刻胶辅助剂等。同时，陶氏化学还是全球重要的CMP（化学机械抛光技术）材料供应商，包括抛光垫、抛光液等。

陶氏化学在路易斯安那州拥有四个工厂，分别为：普拉克明（Plaquemine）、大海湾（Grand Bayou）、哈恩维尔（Hahnville）和格林斯堡（Greensburg），这四家工厂生产了100多种基本和特种化学品，销往全球。

其中，此次爆炸涉及的普拉克明（Plaquemine）工厂隶属于陶氏路易斯安那运营部，占地1500英亩，拥有23个生产单位（有报道称是12个生产单位），生产50多种不同的中间和特种化学产品，如氯和聚乙烯，用于生产化妆品、洗涤剂、溶剂、药品、粘合剂、各种包装用塑料、汽车零部件、电子元件等。

距了解，光刻胶是一种对光敏感的混合液体，其主要作用是通过光化学反应，基于曝光、显影等光工序将所需要刻蚀的细微图形从光罩(掩模版)转移到待加工硅基片上。除了提高加工精度，光刻胶还可以保护硅基材免受腐蚀，阻止离子影响。（文：拓墣产业研究 Amber整理）

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