重磅！荷兰升级DUV管制，已装机也列管

来源:semitrade发布时间:2023-07-031650浏览

当地时间6月30日，荷兰正式宣布实施半导体出口管制。
从2023年9月起，荷兰政府将限制某些先进半导体设备出口，具体而言，荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。尽管荷兰政府并未直接点名会受到限制的公司，但外界都明白这是在针对当地最出名的半导体设备公司ASML。

政策颁布当天，ASML就在官网发出声明表示，根据新出口管制条例规定，ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统（即TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统）。荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证，并将向ASML提供许可证所附条件的细节。
荷兰升级DUV管制，旧款机型恐难逃断供
在ASML既有的4种浸润式DUV系统中，除了NXT:1980Di机种外，另外3种型号的高端浸润式DUV微影设备，包含2018年出货的Twinscan NXT:2000i DUV、分别在2020年与2022年出货的TWINSCAN NXT:2050i与NXT:2100i等，均能支持10纳米以下先进制程芯片量产，都将受到列管并被荷兰政府管制出口。

ASML官网截图
据金融时报（FT）估计，ASML每年在全球出货的浸润式DUV系统不到100台，其中约20%此前销往国内。

根据ASML财报，2022年该公司共出货345台光刻系统，其中有81台浸润式DUV光刻机（ArFi）销往中国大陆，占比为23%。所有产品中，42%销往中国台湾，29%销往韩国，14%销往中国大陆，销往美国的只有7%。

荷兰外贸部长Liesje Schreinemacher此前表示，估计已有数百台ASML DUV机器在国内投入使用，但这同时也包括乾式系统在内。
此外，Schreinemacher也强调，列管的高端浸润式DUV系统，预计每年大约有20个许可证申请，仅占受影响公司（指ASML）总产品组合的有限部分。这个数据，也与外媒估计每年出口国内的高端DUV系统相近。
也就是说，这次荷兰政府新规，首当其冲的将是这每年约20台、ASML出口中国大陆厂商的高端浸润式DUV系统。
不过，据南华早报报导指出，尽管目前TWINSCAN NXT:1980Di仍然允许向国内出货，ASML日前也表示并未遭到列管，但外媒传出，这款能够通过多重曝光、推进10纳米级芯片生产的微影设备，未来恐将因为其有美制组件成分，遭到美国政府管制输中。
荷兰：已装机、未交货高端DUV都列管
荷兰外贸部长Liesje Schreinemacher在半导体出口管制新规宣布后，也同时在荷兰政府公报《Staatscourant》上发布了一份技术文件，概述需要向当局取得出口许可证的详尽规格。

外媒引述Schreinemacher的谈话表示，除了管制尚未交货的高端DUV系统必须要申请许可外，对于已经在客户端导入生产、正在运行的DUV设备，荷兰企业在替客户进行维修之前，也必须向政府取得许可，方可放行。Schreinemacher强调，企业每一次提出机器维护申请，当局都会根据具体情况，考虑是否可以进行维护。
也就是说，荷兰政府的半导体设备出口管制，不仅延伸至列管ASML高端DUV系统，甚至连ASML服务已装机客户的维护维修服务，也需向荷兰政府申请许可，这就让已经到手关键微影设备的国内半导体业者，在某种程度上仍然受到掣肘。
另外，美国方面也在酝酿新的限制政策。当地时间6月30日，路透社报道，美国和荷兰企图给中国芯片制造商来一套所谓“组合拳”，将进一步限制对华销售芯片制造设备。
种种迹象表明，芯片国产替代变得更为紧迫。