中科飞测：国产半导体检测设备龙头快速成长

中科飞测成立于2014年12月，2023年5月19日在上交所科创板上市。公司是国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，其中检测设备的销售收入占公司主营业务收入的75%以上。公司产品用于集成电路前道制程和先进封装领域，客户覆盖集成电路前道制程、先进封装企业，以及相关设备、材料企业，已广泛应用在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技（600584）、华天科技（002185）等国内主流集成电路制造产线。

质量控制设备为集成电路生产过程中的核心设备之一，是保证芯片生产良品率的关键。根据VLSI Research的统计，2020年半导体检测和量测设备市场各类设备占比中，检测设备占比为62.6%，包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、掩膜检测设备等;量测设备占比为33.5%，包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。

半导体量/检测设备国产化率极低，国产替代潜力巨大。全球2021年量/检测设备市场规模约100亿美元，竞争格局集中，美国科磊KLA、美国应用材料、日本日立位居前三，KLA(市占率54%)一家独大。中国大陆市场进口依赖度高，2021年国产化率仅3%，国内主要有中科飞测、上海精测、上海睿励(中微公司持股)及东方晶源等公司持续突破。目前国内企业在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关键尺寸/套刻量测等多个细分领域持续发力突破，国内厂商市占率有望进入成长快车道，深度受益国产替代。

公司产品技术具有先进性，已在多家客户端投产。公司坚持自主研发核心技术，产品在同等工艺水平的关键技术参数与国际竞品相当，并通过推进先进制程的设备研发，实现2Xnm制程的应用突破。公司已有多台设备在28nm产线通过验收，另有对应1Xnm产线的SPRUCE-900型号设备正在研发中，对应2Xnm以下产线的DRAGONBLOOD-600型号设备正在产线进行验证，并已取得两家客户的订单。在灵敏度方面，公司实现了无图形晶圆缺陷检测设备系列最小灵敏度23nm缺陷尺度的检测，图形晶圆缺陷检测设备系列最小灵敏度0.5μm缺陷尺度的检测，三维形貌量测设备系列和薄膜膜厚量测设备系列重复性精度的显著提高，分别达到0.1nm和0.003nm。

公司正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测设备等其他型号的设备，其对应的市场份额为24.7%，这将进一步提高公司产品线覆盖的广度，打开公司产品可触达的市场空间。同时，公司也在进行性能参数和功能等升级，升级型号产品销售占比在2021年首次超过50%，成为公司主力销售产品。公司本次募投项目达产后每年新增产能为230台半导体质量控制设备，技术迭代升级与产品覆盖度提升能为消化新增产能提供有力保障。

平安证券表示，公司背靠中科院，在部分细分领域填补了国内高端半导体质量控制设备市场的空白，在手订单快速增长。作为国内检测和量测设备的细分龙头，随着国内晶圆厂的扩产，以及美日等国家制裁下国内集成电路制造产线对于设备自主可控的需求日益强烈，公司的销售规模有望继续扩大，市场份额提升空间值得期待。预计2023-2025年公司的营收分别为7.29亿元、10.29亿元、14.15亿元，看好公司中长期的市场份额提升潜力，首次覆盖，给予“推荐”评级。

国联证券（601456）表示，公司是国内领先的半导体量检测设备企业，现有生产场地使用已处于较为饱和状态，随着募投产能的释放有望助力收入进一步提升。预计公司2023-2025年收入分别为7.03亿元、9.99亿元、13.99亿元，对应增速分别为38.11%、42.01%、40.07%，归母净利润分别为0.33亿元、0.82亿元、1.65亿元，对应增速分别为182.99%、147.83%、100.00%，对应EPS分别为0.10元、0.26元、0.51元。新股上市，市值波动较大，建议持续关注。